판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394496

TEL (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 은 반도체 제조를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 최대 100 개의 웨이퍼를 동시에 배치 처리할 수 있으며, 안정성이 뛰어나고 안정적입니다. TEL INDY B L에는 얕은 트렌치 에치, DRIE (deep reactive ion etching), 증기 에칭에 이르기까지 다양한 에칭 프로세스와 응용 프로그램이 제공됩니다. 에치 공정은 가변 주파수 및 위상을 갖는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 를 사용하여 에치 균일 성, 선택성 및 에치 속도를 최적화한다. TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 스핀 린스 건조 및 웨이퍼 정렬을 포함하여 습식 에칭 및 건식 처리 응용 모두에 대한 자동 웨이퍼 핸들링이 있습니다. 이 기계는 정확한 엔드 포인트 탐지를 위해 높은 정확도의 엔드 포인트 (end-point) 감지 장비와 더 높은 공정 수율을 가능하게 하는 엔드 포인트 사후 스크럽 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 기계는 모든 에치 공정에 대한 다양한 유형의 반응 용기를 안전하고 정확하게 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy-B-L (TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 은 최고 수준의 사용자 안전을 보장하고 환경을 보호하기 위해 능동적이고 수동 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 광범위한 프로그램 가능한 경보 및 안전 센서 (예: 비상 정지 단추) 를 제공하여 안전하지 않은 상황을 감지합니다. 일관되고 안정적인 결과를 얻기 위해 INDY B L (INDY B L) 은 포괄적인 프로세스 및 유닛 모니터링을 위해 설계되었습니다. 온보드 컴퓨터 시스템은 압력, 온도, 기타 매개변수 등 프로세스 상태를 지속적으로 모니터링합니다. 또한 프로세스 제어를 개선하기 위해 필요할 때 자동으로 매개변수를 조정할 수 있는 자동 수정 도구 (auto-correction tool) 가 있습니다. INDY B-L (INDY B-L) 은 높은 품질과 안정적인 성능으로 인해 저용량 및 대용량 생산을 위해 반도체 제조에 이상적인 선택입니다. 이 기계는 다운타임을 최소화하고 전체 처리량을 늘리기 위해 손쉬운 유지 보수 (maintenance) 와 빠른 청소 (quick cleaning) 를 위해 설계되었습니다.