판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9244878

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 산업을위한 고성능 에처/애셔입니다. 주로 백 그라인딩, 테이퍼 에칭, 지형 처리, 백 스페이서 에칭 및 기타 중요한 응용 프로그램에 사용됩니다. TEM/FIB 샘플 준비, 샘플 그라인딩, 백 사이드 스페이서 에칭, 서피스 패턴, 백 엔드 라인 처리 등과 같은 반도체 웨이퍼의 다양한 얇은 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 기계는 높은 정밀도, 큰 이중 작업 영역 및 빠른 에치 시간을 특징으로합니다. TEL INDY B L etcher/asher에는 TEL이 개발 한 완전 자동화 프로세스 인 Dry Etching의 Cascading Chart가 장착되어 있습니다. 이 프로세스는 탁월한 프로세스 제어, 향상된 유연성 및 비용 절감 효과를 제공합니다. 또한 통합 프로세스 모니터링 시스템 (Integrated Process Monitoring System) 을 통해 모든 프로세스가 최적의 조건에서 실행되도록 합니다. 이 시스템은 압력, 온도, 에치 속도 및 타이밍을 모니터링하여 최적의 상태를 유지합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L (TOKYO INDY B-L) 은 에칭 과정에서 웨이퍼를 쉽게 조작 할 수있는 충분한 공간을 제공하는 넓은 작업 영역으로 설계되었습니다. 커다란 작업 영역 (work area) 은 에치 (etch) 프로세스 중에 운영자가 손쉽게 웨이퍼를 이동하거나 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 기계는 최대 평면 차원이 500mm x 500mm 인 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. TEL INDY B-L (고속 에칭) 기능은 다양한 기판 및 응용 프로그램을 처리하는 데 적합합니다. 예를 들어, 높은 처리량 (throughput) 애플리케이션을 위해 여러 샘플을 동시에 처리할 수 있습니다. 또한 레이저 보조 에칭 기능 (laser assisted etching function) 이 특징이며, 30 nm 이하의 기능 깊이를 처리 할 수 있으며 결함 찾기 및 프로세스 성능 추적에 사용할 수있는 자세한 웨이퍼 맵을 출력합니다. TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 완전 밀폐 된 스테인리스 스틸 작업 공간 (stainless steel work space) 및 먼지 수집 시스템 (dust collection system) 과 같은 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 이를 통해 프로세스 에칭을 위한 깨끗하고 안전한 작업 환경을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 유속 모니터, 정적 압력 모니터, 온도 모니터 등 다양한 에칭 가스 제어 (etching gas control) 기능으로 설계되었습니다. 전체적으로 INDY B L (INDY B L) 은 반도체 업계의 광범위한 응용 분야에 탁월한 에칭 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 즉, 필요한 모든 안전 예방 조치를 통해 고속, 고정밀도, 신뢰성 있는 에칭 프로세스를 제공할 수 있습니다. 또한, 자동화된 프로세스 제어는 높은 처리량 애플리케이션에 적합합니다.