판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9235796

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 미세 전자 제조에 사용되는 asher라고도하는 에처입니다. 고품질 장치 구조와 정확한 기하 (geometry) 를 생산할 수 있는 고급 에칭 (etching) 장비다. 다양한 공정 화학 물질 (process chemistry) 을 사용하여 얇거나 두꺼운 기판을 처리할 수 있는 높은 처리량을 갖추고 있습니다. 텔 인디 B L (TEL INDY B L) 에는 화학 증기 증착 (CVD) 챔버가 장착되어 있으며, 정밀도 및 정밀도로 산화물 및 질화물 에칭이 가능합니다. 이 시스템은 얇은 호일, 실리콘 웨이퍼, 강성 패널 등 다양한 기판을 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 직관적인 7 인치 LCD 터치 스크린이 장착 된 고급 사용자 인터페이스가 포함되어 있어 프로세스 레시피를 빠르고 쉽게 입력 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 정확한 웨이퍼 전송을 보장하는 신뢰할 수있는 트랙 머신이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L은 화학 기계 연마 (CMP), 얕은 트렌치 분리 (STI) 및 금속 게이트 에칭과 같은 에칭 응용 분야에 적합합니다. 공구는 0.2 미크론 크기의 에칭 선 너비뿐만 아니라 다른 너비와 깊이의 비아 (vias) 와 참호를 처리 할 수 있습니다. 또한 TEL INDY B-L은 RF ICP (Inductively Coupled Plasma) 소스를 통해 생성 된 고성능 플라즈마를 100W ~ 1.2kW 범위의 출력으로 통합합니다. 또한, INDY B L 은 최적화된 프로세스 매개변수를 활용하면서 여러 영역의 다양한 재료를 처리하도록 설계된 다중 영역 (multi-zone) 자산을 제공합니다. 또한 이중 챔버 배치 에칭을위한 4 챔버 처리 모델도 제공됩니다. 이 장비는 최적화 된 가스 공급 및 전달 시스템 (optimized gas supply and delivery system) 을 자랑하여 공정 화학 물질의 빠른 배출을 가능하게하여 처리 시간이 단축됩니다. TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 운영자 및 생산 보증을위한 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 프로세스 안정성을 보장하기 위해 다양한 모니터, 센서 (예: 압력, 온도, 흐름, 마스크 온도 모니터, 챔버 압력 모니터) 가 장착되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 ESD 유발 피해로부터 회로를 보호하는 전용 ESD (Electro Static Discharge) 장치가 장착되어 있습니다. 결론적으로 TEL Indy-B-L은 뛰어난 사용자 인터페이스, 광범위한 기판 호환성, 가변 플라즈마 출력, 강력한 안전 기능을 갖춘 고급 에칭 머신입니다. CMP, STI, 금속 게이트 에칭과 같은 마이크로 일렉트로닉 에칭 응용 프로그램에 적합하며, 정확도가 0.2 미크론까지 정밀 장치 구조를 생성 할 수 있습니다.