판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9176040

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 제조에 사용되는 다목적 에치/애셔 기기입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 동안 뛰어난 기판 평면 및 뛰어난 형태 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. TEL INDY B L은 에칭 속도와 애싱 속도를 정확하게 제어하는 독특한 전기 화학 에칭 장비를 사용합니다. 이 시스템은 전원 공급 장치 (power supply box) 를 사용하여 전류 밀도를 제어하고, 액체 수준 감지 장치를 사용하여 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스 동안 일정한 액체 수준을 유지합니다. 결과적으로 TOKYO ELECTRON INDY B-L은 우수한 에칭 및 애싱 수율을 제공합니다. 인디 B-L (INDY B-L) 은 또한 기기의 뛰어난 수명을 보장하기 위해 더 빠른 에칭 속도와 견고한 디자인을 제공하는 내장 냉각 장치 (in-built cooling unit) 를 갖추고 있습니다. TEL INDY B-L은로드 락 챔버 (load-lock chamber) 를 자랑하여 에칭 및 애싱 프로세스 동안 기판 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 약실은 또한 기질의 정밀한 마이크로 클렌징 (micro-cleansing) 을 보장하고, 오염 물질을 제거하고, 에칭 및 애싱 공정에 대한 기질의 신선 화를 가능하게한다. INDY B L은 심층적 인 서브 미크론 에칭을 허용하는 고급 진공 기계를 특징으로합니다. 이 도구는 또한 에칭 (etching) 및 애싱 속도 (ashing rate) 를 정확하게 유지하여보다 효율적인 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, TOKYO ELECTRON Indy-B-L (TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 은 기판에 균일 한 시약의 증착을 촉진하여 에칭 및 애싱 프로세스 중 프로세스 수율 향상에 기여한다. TEL 인디 -B-L (TEL Indy-B-L) 에는 기판을 에치/애셔 머신에 빠르고 정확하게 적재 할 수있는 내장 입자 로더가 포함되어 있습니다. 로더를 사용하면 진공이 빠르게 형성되어 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 프로세스가 빨라집니다. 또한, TOKYO ELECTRON INDY B L에는 에칭 속도와 애싱 속도의 정확한 제어를 보장하는 고급 자동 전기 화학 혼합 자산이 있습니다. 이 모델은 에칭 및 애싱 프로세스 동안 pH 밸런스를 정확하게 유지하여 기질과 시약 사이의 최적의 반응 속도를 보장합니다. 전반적으로 Indy-B-L은 우수한 에칭 및 애싱 수확량을 제공하는 고급 에치/애셔 악기입니다. 고유한 설계, 정확한 제어, 효율적인 로드/언로드 기능을 통해 반도체 제작에 이상적인 솔루션이 됩니다.