판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9140988

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9140988
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Furnaces, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 은 최신 최첨단 기술을 활용하여 정확한 반도체 처리 결과를 제공하는 완전 자동화 에처입니다. 기존의 수동 에칭 방법과 달리, TEL INDY B L에는 깨끗하고 고품질 에칭을 보장하기 위해 온도, 화학 농도, 공기 흐름 및 기타 매개 변수의 정확한 조정이 가능한 고급 제어 시스템이 있습니다. 효율적인 웨이퍼 클렌징 및 에칭 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON INDY B-L (TOKYO ELECTRON INDY B-L) 은 다양한 응용 분야에 가장 진보 된 반도체 기판을 처리하기에 적합합니다. TEL Indy-B-L에는 에칭 프로세스에 사용되는 온보드 프로세스 캐비닛이 있습니다. 이 캐비닛에는 깨끗하고 고품질 결과를 얻기 위해 필요한 정확한 압력, 온도, 농도 및 유량을 설정하기위한 가스 조정 노브 (gas coordination knob) 가 장착되어 있습니다. 통합 진공 펌프는 에칭 공정 챔버 (etching process chamber) 에서 가스 화학 물질을 효율적으로 대피시킵니다. 레이저 간섭계 (laser interferometer) 는 웨이퍼의 두께를 측정하고 그에 따라 가스 매개변수를 조정하여 최대 표면 정밀도를 활성화하는 데 사용됩니다. 정확한 에칭 결과를 얻기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 완전히 균등하고 일관된 가열을 제공하는 2 개의 가열 요소가 장착되어 있습니다. 최대 균일성을 위해, 상단 가열 요소는 전체 웨이퍼 표면적에서도 원하는 온도를 유지하는 데 도움이 되는 정확하게 정의 된 공기 간격 (air gap) 을 갖습니다. INDY B L은 또한 복잡한 세부 사항의 가열 변화를 모니터링하는 지능형 열 모니터 장비를 갖추고 있습니다. 안전한 환경을 유지하기 위해 TEL INDY B-L (TEL INDY B-L) 에는 공기 불순물을 효율적으로 제거하여 안전하고 깨끗한 에칭을 허용하는 고성능 드라이 가스 정화 시스템이 포함되어 있습니다. 이중 밀봉 된 문은 유해한 가스 화학 물질의 탈출을 방지하는 한편, 최대 안전과 청결을 보장합니다. 또한, 배기 안전 장치 (Exhaust Safety Device) 는 급격한 압력 상승을 감지하여 유닛을 잠재적 피해로부터 즉시 보호합니다. INDY B-L은 강력한 수치 제어 툴과 데이터 분석 기능을 갖춘 고성능, 다중 계층 CPU 컴퓨팅 머신을 제공합니다. 사용자 친화적 인 디스플레이에 연결하여 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 편리하게 편집, 라이브 모니터링, 완벽하게 제어할 수 있습니다. 에셋에는 fail-safe 자동 종료 (fail-safe auto shutdown) 프로토콜이 장착되어 있어 불규칙성이 감지되면 시스템이 자동으로 종료됩니다. 정교한 제어 시스템과 고급 퍼징 기술이 결합된 TOKYO ELECTRON INDY B L (TOKYO ELECTRON INDY B L) 은 반도체 에칭 및 애싱 프로세스의 정확성과 신뢰성을 추구하는 사용자에게 가장 중요한 선택입니다.
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