판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825598

ID: 293825598
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Furnace, 12" Process: Poly 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 에처/애셔 도구입니다. 이 고급 도구 (advanced tool) 는 모든 유형의 재료 (금속 및 중합체) 의 에칭을 용이하게하도록 설계된 기능입니다. TEL INDY B L은 에칭 프로세스 동안 처리량, 정확도 및 신뢰성을 높이기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구에는 확장 된 영역에 균일 한 에칭을 가능하게하는 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 소스의 이동 없이 에칭 (etching) 을 신속하게 완료할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 통합 프로그래머블 논리 컨트롤러 (PLC) 도 있습니다. 이렇게 하면 반응성 있는 레시피 및 에칭 시퀀스 (etching sequence) 를 컴퓨터에 업로드하여 모든 재료의 에칭 프로세스를 빠르게 수행할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 에칭 매개변수 (etching parameters) 로 설계되었으며, 에칭되는 재료에 따라 조정할 수 있습니다. 이러한 조정은 별도의 콘솔 디스플레이 (console display) 에서 액세스할 수 있는 직관적인 버튼 패널을 통해 이루어집니다. 이를 통해 에칭을 정확하게 제어하여 고품질 마무리를 보장할 수 있습니다. TEL Indy-B-L (TEL Indy-B-L) 에는 에칭 매개변수를 조정하여 시간이 지남에 따라 일관성을 유지하는 자동 열 보상 기능도 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L은 알루미늄, 구리, 텅스텐 등의 금속 및 폴리메틸 메타 크릴 레이트 및 폴리 이마이드와 같은 중합체를 포함한 다양한 물질을 식각 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼, 기판 마운트 및 포장 공정의 에칭에도 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY B L (TOKYO ELECTRON INDY B L) 은 반도체 업계에서 사용할 다양한 재료를 에칭하기위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스, 직관적 인 버튼 패널 및 자동 열 보상은 고품질 결과를 얻기 위해 균일하고 정확한 에칭 프로세스를 보장합니다.
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