판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810872

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 장치 제조를위한 고정밀 에처 또는 애셔입니다. 이 습식 공정 도구는 모든 반도체 웨이퍼에서 유전체 및 금속 필름의 매우 정확한 에칭을 약속합니다. 신뢰할 수있는 프로파일 정밀도 ± 0.2 jm의 두께 필름 (최대 0.375m) 을 가져올 수 있습니다. 텔 인디 B L (TEL INDY B L) 은 많은 레시피에 대해 높은 처리 정확도와 효율적인 작동을 가지고 있습니다. etch 프로세스는 대부분 대화식이며 프로세스 제어 소프트웨어에 의해 안내됩니다. 그것의 챔버는 내부적으로 일관된 압력 에칭에 대한 압력을 예리하고 균일하게 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한, 챔버는 안정된 온도를 보장하기 위해 가스 순환 열 교환기를 통합합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 ± 2 ° C 미만의 웨이퍼 온도 균일성을 자랑하며 에칭 결과를 모니터링하기위한 2 개의 관측 포트도 갖추고 있습니다. 웨이퍼 회전 속도는 500 rpm에서 5,000 rpm 사이이며 정확한 에칭을 보장합니다. 전면 소스에는 정확한 에치 제어를 위해 에치 화학 (etch chemistry) 의 변화를 유발하기 위해 고주파 전압을 생성하는 증폭기가 포함되어 있습니다. 소스는 또한 자동 조정 기능 (auto tune function) 을 특징으로하며, 에칭되는 재료 및 에칭 조건에 따라 소스 매개변수를 자동으로 최적화할 수 있습니다. TEL Indy-B-L의 특수 안전 기능에는 비상 환기 밸브, 통합 드립 팬 및 산 수집 및 중화 시스템의 빌트-가 포함됩니다. 전반적으로, 반도체 장치의 제작을 위해 매우 안정적이고, 비용 효율적이며, 정확한 에칭 프로세스를 제공합니다.