판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293809898
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293809898
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Vertical furnace, 12"
Process: D-Poly
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 및 집적 회로 장치의 제작을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 얕은 트렌치 격리 (STI), 고 종횡비 금속 에칭, 얕은 트렌치 금속 스트라이프 및 얕은 트렌치 격리 (STI) 및 딥 트렌치 격리 (DTI) 와 같은 광범위한 응용 분야에 이상적인 다용도 통합 고속 응답 장비입니다. TEL INDY B L은 반도체 제작에서 최신 최첨단 기술을 사용합니다. 제어 된 에칭 필름을위한 TEL 독점 CST (Cleanliness Control System) 는 결함이 적고, 높은 처리량을 제공하는 혁신적인 샘플 운송 개념을 갖춘 RST (Robust Sample Transfer Unit) 를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 다른 소스 재료를 수용 할 수 있으며, Etch 및 Asher 섹션은 광범위한 유연성과 정확성을 제공합니다. 인디 B L (INDY B L) 은 매장 된 접촉 장치 및 패턴 와이어의 얕은 트렌치 금속 스트라이프, 접촉 및 간격 금속화를 위한 얕은 트렌치 격리 및 장치 격리를위한 딥 트렌치 격리를위한 에치 할 수있다. 에칭 프로세스는 선택 가능한 에칭 시간, 온도, 압력 및 가스 유량을 통해 매우 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 다른 필름의 효율적인 처리를 위해 프로그래밍 가능한 플라즈마 제어 기능이 포함되어 있습니다. TEL INDY B-L (Asher) 섹션에서 TEL INDY B-L (TEL INDY B-L) 은 웨이퍼 표면을 따라 반응물의 균일 한 분포를위한 통합 냉각 머신과 가변 영역 노즐과 웨이퍼 표면에 균일 한 필름을 배치하여 재배치를 방지하는 통합 홍수 총을 갖추고 있습니다. 또한 애셔 (Asher) 섹션에는 에칭 및 애싱 프로세스를 쉽게 설정하고 작업 할 수있는 터치 스크린 인터페이스가 있습니다. 결론적으로, TEL Indy-B-L etcher/asher는 반도체 및 집적 회로 장치의 제작을 위해 설계된 통합, 고성능 도구입니다. 에칭 필름 (etched film) 을 제어하는 다양한 고급 기술과 간단한 설치 및 작동을 위한 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 커스터마이징 가능한 에칭 및 애싱 프로세스는 반도체 제작의 다양한 응용 분야에 이상적입니다.
아직 리뷰가 없습니다