판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643336

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L (Induction Etcher/Asher) 은 TEL이 반도체 제작을 위해 개발 한 고정밀 진공 가공 기계입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 뛰어난 공정 균일성, 낮은 입자 생성 및 높은 정밀 에칭으로 수직 에치 결과를 달성하기 위해 설계되었습니다. 텔 인디 B L (TEL INDY B L) 은 매우 작은 규모의 구조를 심층적으로 에칭하고 높은 종횡비 구조에 대한 뛰어난 프로파일 제어를 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 3 가지 유형의 에칭을 제공합니다: AIE (Anisotropic Induction Etching), IIE (Isotropic Induction Etching) 및 TE (Tetrahedral Etching). AIE는 가파른 측면 벽 피쳐를 형성하는 데 적합한 고지향성 (고도로 비등방성) 에치를 제공하는 반면, IIE 및 TE는 완만 경사 프로파일을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 매우 정확한 에칭 정밀도로 정확한 3 차원 구조를 제작하기 위해 TE 프로세스를 조정하여 정확한 에치 제어를 제공 할 수있다. TEL Indy-B-L (TEL Indy-B-L) 은 멀티 챔버 환경을 갖추고 있으며 동일한 머신에서 에칭 및 애싱 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. "에칭 '챔버' 는 저압" 마이크로 '파 동력 유도 "코일' 을 사용 하며 가공 중 에 우발적 인 물질 의 이온화 를 방지 하도록 설계 되었다. 애싱 챔버 (ashing chamber) 는 반응성 가스를 사용하여 더 빠른 에칭 균일 성과 더 높은 처리량을 촉진합니다. INDY B L은 또한 독점 산업 등급 컴퓨터 시스템에 연결된 GUI 기반 사용자 인터페이스를 사용하는 고급 에칭/프로세싱 제어 장비를 갖추고 있습니다. 이 장치를 사용하면 직관적인 메뉴 기반 환경을 통해 에칭 결과를 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 진단, 프로세스 기록 로깅, 데이터 전송, 설정 템플릿 (템플릿) 을 제공하여 고품질 결과의 효율적이고 안정적인 에칭/처리를 지원합니다. 요약하면, TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L은 가장 까다로운 반도체 프로세스를 위해 설계된 고급 에칭/애싱 도구입니다. 이 기계는 우수한 에치 균일성 (etch unifority), 입자 제어 및 프로파일 제어를 제공하며 강력한 제어 자산으로 뒷받침됩니다. 인디 B-L (INDY B-L) 은 소규모의 구조를 정확하고 정확하게 에칭하기 위해 독특하게 장착되어 있으며, 다양한 에칭 및 처리 목적으로 사용될 수 있습니다.