판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643318

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 제조 분야의 응용 분야를 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. TEL INDY B L (TEL INDY B L) 은 높은 성능과 다양한 플랫폼으로 특별히 설계되어 있어 높은 처리량과 높은 유연성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 원정 터릿, 애싱 모듈, 3 개의 독립 산소, CF4 및 C3F8 소스, 2 개의 독립 기판 소스, 2 개의 독립적 인 측면 폭 및 단일 온도 챔버를 포함한 전체 구성 요소를 포함하는 수평 장착 플랫폼으로 구성됩니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L에는 RF 발전기와 부동 기판 척 (옵션) 이 포함되어 있으므로 특정 프로세스 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L은 디지털 발진기 디자인을 사용하여 정확한 주파수 제어 및 빠른 디지털 튜닝을 허용합니다. 원거리 (away-turret) 를 사용하면 각 프로세스에 대해 빠르고 효율적인 시스템 설정이 가능하므로 사용자의 프로세스 성능이 최적화됩니다. 독립 산소 (Oxygen), CF4 및 C3F8 소스와 이중 독립 기판 소스를 활용하여 에칭 프로세스의 품질을 더욱 향상시킬 수 있습니다. TEL 인디 -B-L (TEL Indy-B-L) 의 이중 기판원은 로우-k 및 하이-k 재료를 모두 동일한 단위로 처리하여 각 기판 유형에 대한 전용 에처가 필요하지 않습니다. 고도 온도 조절기 (temperature control) 와 RF 생성기 (generator) 를 활용하여 에칭 프로세스의 품질과 성능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy-B-L (TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 의 온도 챔버는 진공 밀봉이며 고급 플라즈마 온도 조절 기계를 가지고 있으며, 광범위한 공정 응용 프로그램으로 정밀 온도 관리를 할 수 있습니다. 인디 B-L (INDY B-L) 의 통합 고출력 RF 생성기는 정확한 주파수 제어 및 빠른 디지털 튜닝을 위해 설계되었으며, 에칭 프로세스의 플라즈마 매개변수를 제어하는 기능이 크게 향상되었습니다. 결론적으로, TEL INDY B-L은 반도체 제조 분야의 응용 분야를 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 도구입니다. 인디 B L (INDY B L) 은 특히 고성능, 다용도가 높은 플랫폼으로 설계되어 있어 높은 처리량과 높은 유연성을 모두 구현할 수 있습니다. 디지털 발진기 디자인, 고급 온도 제어 및 RF 전력 발전기와 결합 된 광범위한 구성 요소 제품군은 Indy-B-L (Indy-B-L) 을 로우-k 및 하이-k 재료에 이상적인 에칭 및 애싱 에셋으로 만듭니다.