판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637439
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ID: 293637439
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
W/T Type: 1+4 Edge grip
W/T Auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube Type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the Top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 장치 제조에 사용되는 에처 (asher라고도 함) 입니다. 자동 플랫폼을 기반으로 한 단일 웨이퍼 장비이며, 매우 정밀합니다. 최대 수율을 유지하면서 빠르고 정확한 처리를 보장하는 300 웨이퍼/시간 (wafer/hour) 이상을 처리 할 수있는 로드/언로드 시스템이 있습니다. TEL INDY B L (TEL INDY B L) 은 견고하고 신뢰할 수 있는 장치로 설계되어, 가장 까다로운 제조를 위한 최고의 생산성과 정확성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 사이클 시간을 최소화하고 안정적인 에칭 조건을 보장하는 직접 구동 로드 포트가 제공됩니다. 또한 웨이퍼 처리 장치 (Wafer-handling Machine) 를 사용하여 공구 (Process Tool) 에 안전하게 전송할 수 있도록 웨이퍼가 단단히 고정되어 있으며, 처리 중 잘못된 정렬 또는 파손을 방지합니다. TOKYO ELECTRON Indy-B-L의 고급 제어 도구 및 종합 메시지 센터 (Comprehensive Message Center) 는 에칭 프로세스에 대한 실시간 통찰력을 제공하여 최적의 결과를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L에는 다양한 에치 레시피를 갖춘 고급 야외 기술이 있습니다. 이를 통해 각 웨이퍼 (wafer) 에서 일관된 성능과 품질을 얻을 수 있으며, 다양한 가스와 미디어로 에처 (etcher) 를 가져올 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L (TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L) 에는 프로세스 모니터링이 실시간으로 수행되도록 하는 통합 프로세스 분석 모듈이 있습니다. 이러한 기능 외에도 TOKYO ELECTRON INDY B L (TOKYO INDY B L) 은 고객의 요구에 맞게 다양한 맞춤형 사양을 제공합니다. TEL 인디 -B-L (TEL Indy-B-L) 은 다양한 크기와 디자인으로 제공되며, 다양한 미디어에 맞게 구성할 수 있으며, 현장 청소 기능을 제공합니다. Indy-B-L은 또한 넓은 온도 범위를 가지고 있으며, 정확하고 심지어 공정을 가능하게합니다. 전반적으로 TEL INDY B-L (TEL INDY B-L) 은 더 많은 수율과 빠른 주기 시간을 제공하면서 뛰어난 성능과 품질을 제공하는 에처입니다. 광범위한 기능과 맞춤형 구성을 통해 반도체 제조에 이상적인 솔루션으로 자리잡았습니다 (영문).
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