판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637434
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ID: 293637434
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
With type: 1+4 Edge grip
With auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F Connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID Reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (Gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 및 화합물 산업을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 가장 훌륭한 재료를 제조하는 데 사용되는 고급, 신뢰성, 매우 정밀한 에치/애싱 (etch/ashing) 장비입니다. TEL INDY B L etcher는 프리 클리닝, 디가 싱, 애싱, 에칭 및 에치/치유와 같은 다양한 기능을 수행 할 수있는 프로그래밍 가능한 단계 시스템을 갖추고 있습니다. 사전 청소 단계는 기질에서 오염 물질을 제거하는 데 사용되며, 퇴화 단계는 원치 않는 가스 분자를 제거합니다. "애싱 '공정 은 표면 원자 를 제거 하고" 에칭' 공정 은 기판 에서 섬세하고 단단한 층 을 제거 한다. 에치/치유 단계는 기질의 잔류 응력을 줄이기 위해 사용됩니다. 에처는 고급 AI 기반 SCS (Smart Cooling Unit) 를 사용하여 정확한 에칭을 위해 최적의 온도를 유지합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 심해 에치, 에치 후 통일 및 저온 에칭을 포함하여 광범위한 전문 에칭 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 10 나노 미터 (10 나노 미터) 정도의 부품을 정확하게 표면 수정하여 MEM 및 LSI 장치와 같은 고급 응용 프로그램에 이상적입니다. 에처는 또한 완전히 자동화되어 있으며, 간단한 터치 패널 인터페이스를 통해 작동 할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON INDY B L (TOKYO INDY B L) 은 운영자와 주변 환경의 보호를 보장하는 포괄적인 안전 기능을 제공합니다. 잠재적인 누출을 식별하기 위해 매우 정교한 VLDS (Vacuum Leak Detection Tool) 가 장착되어 있습니다. 또한 SGSS (Standardized Gas Supply Asset) 를 갖추고 있으며, 안전 조건이 허용되면 가스가 모델을 통해서만 공급됩니다. 마지막으로, 혁신적인 친환경 냉각 장비 (KIECS) 는 작동 중단 중에 가스 소비를 자동으로 줄여 에너지를 절약합니다. 전반적으로 Indy-B-L은 반도체 및 화합물 산업의 고급 응용 분야를 위해 설계된 정교한 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. SCS, VLDS, SGSS 및 KIECS와 같은 고급 기능이 있으며 나노미터 스케일까지 정밀 에칭을 제공합니다. 안전 기능은 최적의 안전 상태를 보장하며 정교한 터치 패널 인터페이스 (touch-panel interface) 를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다.
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