판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9355273

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A는 반도체 장치 생산을위한 애셔/에처 장비입니다. 저온 프로세스 창을 사용하여 우수한 플라즈마 에칭 및 클리닝 기능을 제공합니다. TEL Indy-A 시스템은 300i 및 500i의 두 가지 모델로 제공되며 300mm 및 500mm 기판을 처리 할 수 있습니다. 두 모델 모두 CCD 및 X-Y 스캐너를 내장하여 효율적인 에칭을 위해 정확한 기판 위치를 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY A 장치는 또한 도핑 임플란트를위한 뛰어난 이식 능력을 가지고 있습니다. 저농도 기판의 임플란테이션에 대한 저전압 작동이 있습니다. 이 기계에는 단일 또는 멀티 웨이퍼 런을 처리 할 수있는 독립 프로세스 암 (process arm) 이 있으며, 이는 시간당 최대 18 + 웨이퍼의 효율성을 최적화합니다. TEL INDY A 도구는 PECVD 및 ICP와 호환되며 뛰어난 챔버 청결을 제공합니다. touch-sensing/positioning 메커니즘과 카멜레온 12 PECVD 자산을 플라즈마 에칭에 사용하여 저온 및 고온 프로세스를 모두 허용합니다. 이 모델은 모든 크기의 웨이퍼를 빠르고 정확하게 에칭하도록 설계되었습니다. Indy-A 장비는 다양성이 뛰어나 유연성과 사용자 정의가 가능합니다. "스마트" 기능을 제공하여 열 모니터링, 웹 어시스트, 기판 매핑과 같은 시스템 성능을 향상시킵니다. 이 장치는 또한 저압 및 고압 옵션과 진공 및 공기 기반 작동 모드를 제공합니다. 이 시스템에는 실시간 프로세스 제어를 제공하는 통합 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 도구에는 레시피 빌딩 유틸리티 및 자동 진단과 같은 프로세스 개발 도구도 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A는 효율적인 주문형 생산을 위해 설계된 저비용, 완전 자동화 작동을 특징으로합니다. 또한, INDY A는 RoHS를 준수하며 반도체 생산의 유해한 환경 영향을 줄이기 위해 설계되었습니다. 요약하자면, TOKYO ELECTRON Indy-A는 뛰어난 프로세스 기능을 갖춘 정확하고 자동화된 단일 및 멀티 웨이퍼 런을 처리하는 고급 asher/etcher 자산입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A) 는 저렴하고 유연한 구성 요소를 통해 고성능 효과를 제공하며 환경 영향을 최소화하면서 정밀 에칭을 달성하도록 설계되었습니다.