판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9302270

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A는 신뢰성이 높은 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 금속, 합금, 비금속 및 실리콘 웨이퍼를 포함한 모든 종류의 기판에 완전한 에치 앤 애쉬 (etch-and-ash) 기능을 제공합니다. TEL Indy-A는 최적의 에칭 및 애싱 결과를 보장하는 PLC (programmable logic controller) 장치에 의해 구동됩니다. 에칭 챔버, 에칭 노즐, 샤워 헤드, 배기 파이프 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY A의 에칭 챔버는 기판에 균일 한 에칭 활성을 제공하도록 설계되었습니다. "플라즈마 '" 에칭' 용 질소/산소 혼합물 을 포함 하여 광범위 한 공정 "가스 '조합 을 제공 할 수 있는" 가스' 원 을 갖추고 있다. 뿐 만 아니라, "플라즈마 '를 생성 하기 위해 고전압 원 이 통합 되어 원하는 수준 으로 조정 할 수 있다. 에칭 노즐 (etching nozzle) 은 에칭 챔버 (etching chamber) 의 뒷면에 편리하게 위치하며, 에칭 과정을 가속화하기 위해 균일하고 고압 가스 흐름을 제공합니다. 기체 흐름은 노즐 선택기 (nozzle selector) 를 사용하여 조정할 수 있으며, 에칭 챔버 (etching chamber) 의 모서리 벽 (edge-wall) 의 여러 영역으로 향할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A의 샤워 헤드는 에칭 챔버에 내장되어 있으며 특수 코팅 또는 청소를 제공하도록 설계되었습니다. 에칭 노즐 (etching nozzle) 과 샤워 헤드 (shower head) 가 결합하여 균일 한 에치 및 애싱 활동을 제공합니다. 기계 에는 또한 "에칭 '실 꼭대기 에 연결 되어 유독 한" 가스' 를 배출 하는 배기 "파이프 '가 있다. TOKYO ELECTRON Indy-A는 강력하고 신뢰할 수있는 에처/애셔 도구입니다. PLC (programmable logic controller) 자산은 오류를 제거하면서 정확한 에치 앤 애쉬 프로세스를 보장합니다. 또한, 최소한의 시간과 재료 폐기물로 고품질의 에치 앤 애쉬 (etch-and-ash) 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 다양한 유형의 기판을 매우 정확하게 에칭 (etching) 하고 재 (ashing) 할 수있는 훌륭한 선택입니다.