판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9284835

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 9284835
웨이퍼 크기: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A는 다양한 산업 생산 라인에 사용하도록 설계된 자동 전기 화학 에칭 및 증착 장비입니다. 이 시스템은 다양한 전기 도금, 에칭 및 증착 과정을 일관되고 정확하게 전달 할 수 있습니다. 생산 라인의 여러 구성 요소에 대한 맞춤형 (bespoke) 프로세스를 제공하여 균일 한 증착 두께와 품질을 달성 할 수 있습니다. TEL 인디 A (Indy-A) 플랫폼은 마이크로 프로세서로 구동되며, 이를 통해 사용자는 다양한 매개변수에 액세스하고 구성 요소와 원하는 프로세스에 맞게 설정을 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 원하는 결과를 얻을 수 있도록 최적화된 사용자 정의 (customization) 와 제어 (control) 를 위한 단순하고 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 자동 (automated) 프로세스를 지원하며, 운영자는 최소한의 노력으로 처리 속도를 높일 수 있으며, 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 확보할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY A 기계는 고출력 X-Y-Z 모터 스테이지 및 웨이퍼 클램핑 힘 덕분에 매우 정확한 전기 도금 및 에칭 프로세스를 달성 할 수 있습니다. 이러한 기능의 조합을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON INDY A 도구는 매우 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 달성 할 수 있으며, 에치 레이트 제어와 넓은 영역에 대한 균일 한 두께 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Indy-A 자산에는 에칭/도금 과정의 화학적 변화를 모니터링하고 특수 프로파일 링을위한 EIS (Electrrochemical Impedance Spectroscopy) 장치가 장착되어 있습니다. 인디 A (Indy-A) 모델의 사용자 정의 에디션은 다양한 공구 헤드 조합, 웨이퍼 크기 지원, 기판 가열 및 온도 제어, 최고 수준의 안전성을 보장하기 위해 내장 안전 매개변수를 갖춘 구성이 가능합니다. 또한 INDY A 장비는 커스터마이징 가능한 설정으로 1 단계 및 멀티 스텝 프로세스를 모두 지원하며, 외투 증착, 습식 개발, 교정 및 교정 측정을위한 소프트웨어도 지원합니다. 결론적으로, TEL INDY A 시스템은 다양한 산업 생산 라인을 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 자동 에칭/도금 솔루션으로 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 UI, 정밀한 동력 단계, 웨이퍼 클램프 (wafer clamping) 기능, 사용자 정의 가능한 도구 헤드 및 소프트웨어 옵션은 이러한 etcher/asher를 매우 구성하고 거의 모든 생산 요구에 적합합니다.
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