판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9214145

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A는 반도체 웨이퍼의 정확하고 효율적이며 안정적인 처리를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 높은 정확성과 반복 성을 가진 TEL 인디 에처 (TEL Indy-A etcher) 는 다양한 고급 생산 응용 프로그램에 사용하기에 이상적입니다. 최첨단 툴은 코너 투 코너 (corner-to-corner) 에지 정의, 에지 체이스 및 감지 기능, 높은 처리량 플라즈마 에치 기술을 갖춘 고급 프로세스 제어 기술을 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY A에는 자동 로드 락 교환이 장착되어 있어 오염이 최소화되고 처리량이 향상됩니다. 또한, 낮은 kV 프로세스 창은 빠른 에치 레이트와 향상된 에피 택시 레이어 에치 레이트를 제공합니다. LOCOS (Local Oxidation of Silicon) 프로세스를 사용하여 TOKYO ELECTRON Indy-A는 선택성으로 얇고 균일 한 단열층을 가져올 수 있습니다. 즉, 의도 된 영역 만 에칭 프로세스에 노출됩니다. 이 선택적 에칭 기술은 매우 정확하고, 매우 정확한 전자 회로를 생산하는 데 필수적입니다. LOCOS 프로세스는 ACT (Advanced Oxidation Control Technology), 고급 에지 정의 기능, 코너 보호, 맞춤형 소프트웨어 레시피 등 다양한 기능을 통해 지원됩니다. 고급 자동화의 장점으로, 인디 A (INDY A) 는 파퍼를 빠르고 정확하게 에치 (etch) 하고 청소하는 기능을 가지고 있으며, 탁월한 효율성과 결과의 균일성을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A는 매우 정확하고 균일하며 전체 웨이퍼 표면에서 5% 미만으로 반복됩니다. 다양한 프로세스 기능을 제공하여 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. Indy-A는 또한 WCS (Advanced Web Characterization System) 를 통해 여러 처리 레시피를 손쉽게 관리할 수 있으며, 이를 통해 더 높은 수율과 향상된 프로세스 효율성을 제공합니다. 또한 TEL INDY A에는 고급 프로세스 모니터링, 제어 및 피드백 (feedback) 기능이 장착되어 있으며, 실시간 사용자에게 피드백 데이터를 제공합니다. 이 정보를 통해 운영자는 프로세스를 실시간으로 조정하여 최종 제품의 품질 표준 (Quality Standard) 을 충족할 수 있습니다.