판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591336

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 293591336
웨이퍼 크기: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A는 반도체 제작의 사진 분석 단계에서 사용되는 에칭 머신입니다. 특히, TEL 인디 -A (TEL Indy-A) 는 표면의 일부를 에칭하여 상세한 패턴을 기판 재료로 전달하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON INDY A는 반도체 처리 장비의 유명한 공급 업체 인 TEL R&D Tokyo에서 액세스 할 수 있습니다. 에칭 장비는 소형 폼 팩터에서 효율적인 장기 생산 기능을 제공합니다. 따라서 이 시스템은 공간이 제한된 반도체 제조 상점에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 장치는 6 인치, 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 포함한 다양한 기판과도 호환됩니다. 이러한 다양성을 통해 다중 레벨 상호 연결, photomask, MEMS 및 기타 복잡한 microfabrication 프로세스와 같은 응용 프로그램을 더 많은 정확도로 완료 할 수 있습니다. TEL INDY A는보다 복잡한 패턴을 에칭 할 수있는 DE (Dry Etch) 기술을 사용합니다. 이 과정은 화학 증기 증착 (CVD) 및 화학 기계 연마 (CMP) 를 통한 사전 처리를 사용하여 에칭 전에 기질을 준비하고 형성합니다. 이러한 사전 처리 및 에칭 후 프로세스는 접착, 평면 화 및 표면 마무리를 향상시킵니다. Indy-A의 중심에는 연속적인 층을 빠르고 정확하게 에치 (스크럽) 할 수있는 기능이 있습니다. "에칭 '과정 은 제어 되고 반복 할 수 있는 방법 으로" 에칭' 속도 를 최대화 하기 위하여 "바이어스 '전압 을 사용 함 으로써 가속화 된다. 이를 통해 각 웨이퍼는 매번 균일 및 예측 가능한 기능으로 에칭됩니다. INDY A에는 가스 공급 버튼, 탱크 누출 탐지기, 압력 조절기, 에어록 센서 등 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 모든 폐수가 안전하게 포함되어 오염을 최소화합니다. 텔/도쿄 일렉트로닉 인디 A (TEL/TOKYO ELECTRON INDY A) 는 신뢰할 수 있는 고품질 에칭 머신으로, 오늘날의 최첨단 기술과 역사적 프로세스의 정확성과 반복 가능성을 모두 제공합니다. "반도체 제조회사의 생산능력 확대를 위한 완벽한 도구 '다.
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