판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591335

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A는 가장 고급 반도체 기술 응용 프로그램의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템의 맞춤형 플랫폼은 주로 드라이 에칭 (dry etching), 드라이 애싱 (dry ashing) 및 습식 클리닝 (wet cleaning) 으로 구성된 일련의 프로세스 기능을 제공합니다. 구리 금속화의 중간 에칭, 백엔드 라인 처리 (back end of line processing), 고급 패키징 (advanced packaging) 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. TEL Indy-A 장치는 기후 제어 인 메인 챔버 (main chamber) 가있는 다운 스트림 (downstream) 유형의 에치 구성을 사용하여 일관된 프로세스 조건을 보장합니다. RF, DC, 펄스 (pulse) 등 다양한 전원 옵션으로 설계되어 다양한 매개변수 (parameter) 의 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 레시피 최적화 및 프로세스 구현을 위해 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 도쿄 전자 인디 A (TOKYO ELECTRON INDY A) 는 메인 챔버 측면에서 배치 할 수있는 멀티 가스 소스를 갖추고 있으며, 가변 흐름, 다중 원격 캡슐 및 매니 폴드 선택과 같은 맞춤형 가스 전달 옵션을 제공합니다. 이 조합은 독보적인 일관성과 반복성을 갖춘 고해상도 에칭 프로세스를 생성합니다. TEL INDY A (TEL INDY A) 에는 최적화된 프로파일을 따라 작동할 수 있도록 다양한 고급 프로세스 모니터링 및 안전 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 고급 역방향 프로세스 구성 (advanced inverted process configuration) 이 포함되며, 관찰자는 플라즈마 생성 메커니즘을 신속하게 진단하고, 에처 챔버 (etcher chamber) 에서 발생할 수있는 모든 문제에 대한 빠르고 정확한 진단을 제공합니다. 또한, 이 기계는 최첨단 실시간 센서 피드백 제어 메커니즘을 갖추고 있으며, 에치 레이트, 산소 농도, 온도 등 에치 제어 매개변수에 대한 매우 정확한 모니터링을 제공합니다. 인디 A (Indy-A) 는 자동화 옵션을 제공하여 제품 제조에서 보다 높은 수준의 유연성, 정확성 및 속도를 보장합니다. 이 도구에는 특수 청소 자산이 장착되어 있어, 높은 수준의 표면 청결이 가능합니다. INDY A는 대용량 생산에 적합하며, 사용자에게 뛰어난 생산성과 신뢰성을 제공합니다.