판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9394967

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L etcher는 자동화되고 완전히 통합 된 박막 증착 및 에칭 장비입니다. 실리콘 기반 반도체 제품의 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 정밀 에칭 프로세스 동안 균일성과 반복 성을 제공합니다. 저온과 진공 환경 (vacuum environment) 을 통해 에치의 품질과 밀도를 향상시킵니다. 이 장치는 자동 척 압력 조절기 (automatic chuck pressure regulator) 를 사용하여 선택한 기판 온도 및 압력에서 각 에칭 프로세스가 전달되도록 합니다. 또한 "에칭 '과정 중 의 진공 상태 가 일정성 을 보장 하기 위하여 횡경막" 펌프' 를 갖추고 있다. 이렇게 하면 회로 기판의 무결성을 보장하고 최종 사용자 환경을 향상시킬 수 있습니다. TEL 인디 -A-L 에처 (TEL Indy-A-L etcher) 는 또한 대기 압력 제어 기계를 특징으로하며, 에치 레이트의 속도를 높이고 에칭 중 평형 압력을 유지하는 데 도움이됩니다. 이렇게 하면 처리 중 기판 이나 "에치 '를 손상 시킬 가능성 이 줄어든다. 에처는 액티브 드리프트 보상 (active drift compensation), 동적 열 조정 (dynamic thermal adjustment), 지능형 압력 및 속도 제어 (intelligent pressure and speed control) 를 특징으로하며, 이 모든 것이 에칭 프로세스의 정밀도를 최적화하고 향상시키는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L 에처에는 원하는 에치 패턴을 선택하기위한 혁신적인 DIS (Direct Imaging Selector) 가 장착되어 있습니다. 또한 TEL ISM (Industrial Solutions Manager) 과 같은 프로세스 제어 시스템과 통합되도록 설계되었습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 원하는 결과를 충족할 수 있습니다. 이 에처에는 웨이퍼 핸들러 장치, 날씨 봉인, RF 밀봉기 등 다양한 옵션 구성 요소가 있습니다. 이러한 모든 구성 요소는 이 도구의 유연성을 더하고, 더 많은 응용 프로그램에 사용할 수 있게 해 줍니다. 결론적으로 Indy-A-L etcher는 정밀도, 반복성 및 신뢰성이 뛰어난 완전 통합 박막 증착 및 에칭 자산입니다. 혁신적인 DIS (Direct Imaging Selector) 및 대기 압력 제어 시스템이 장착되어 있어 에칭 프로세스의 정확성과 효율성이 향상되었습니다. 옵션 (Optional) 컴포넌트는 유연성을 강화하고 모델을 다양한 어플리케이션에 사용할 수 있도록 합니다.