판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643316

ID: 293643316
빈티지: 2006
Vertical furnace 2006 vintage.
etcher 또는 asher라고도하는 TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 고품질 마이크로 전자 장치 부품을 제작하도록 설계된 고급 에칭 장비입니다. 이 시스템은 엄격한 프로세스 매개변수와 높은 수준의 제조 결과를 보장하는 고급 (advanced) 기능과 기능을 갖춘 종합적인 에치 (etch) 구성 장치입니다. TEL Indy-A-L 머신에는 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 가 있어 특정 응용 프로그램의 요구 사항에 맞게 도구를 쉽게 구성할 수 있습니다. 자동 쿼츠 로딩 메커니즘이 장착 된 2 개의 독립적 인 쿼츠웨어 챔버 (quartz-ware chamber) 가 제공됩니다. 즉, 사용자가 빠르고 효율적으로 웨이퍼를 로드하고 언로드 할 수 있습니다. 챔버에는 "플라텐 자동 로드 (Platen Auto Loading)" 메커니즘이 있으며, 이 메커니즘은 최적의 반복 가능한 프로세스 결과를 위해 웨이퍼를 한 챔버에서 다른 챔버로 자동으로 이동합니다. 에셋에는 비활성 대기 발전기 (inert atmosphere generator) 도 포함되어 있어 에칭 프로세스의 안전하고 깨끗한 환경을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L (TOKYO ELECTRON Indy-A-L) 은 여러 유형의 플라즈마 및 RIE 소스로 구성되거나 여러 소스와 결합하여 여러 웨이퍼 유형을 동시에 에칭할 수 있습니다. Indy-A-L은 에칭 프로세스를 모니터링하고 제어하는 Etch-NetTM Suite (Etch-NetTM Suite) 를 사용하여 프로세스 매개변수 자동화 및 데이터 획득을 지원합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 프로세스 속도, 온도, 압력 및 기타 매개변수를 제어할 수 있으며, 실시간 데이터 수집 및 로깅도 제공할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L) 에는 마우스 한 번의 클릭으로 프로세스 전력, 에치 속도 및 균일성을 제어 할 수있는 3 점 스마트 제어 모델도 있습니다. TEL Indy-A-L은 첨단 에칭 기술로, 첨단 기술 장치 제작을 보장합니다. 이 장비는 사용자가 세밀하게 조정되고 반복 가능한 프로세스 결과와 효율적인 웨이퍼 (wafer) 로드 및 언로드를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L (TOKYO ELECTRON Indy-A-L) 은 프로세스 자동화 및 제어, 실시간 데이터 수집 및 로깅을 제공하며, 이를 통해 사용자는 에칭 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 인디 -A-L (Indy-A-L) 은 사용자에게 최고 수준의 에칭 결과 및 장치 제작을 제공하는 효율적인 에칭 시스템입니다.
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