판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643266

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 고도의 에칭/애싱 장비입니다. TEL 인디 -A-L (Indy-A-L) 은 업계 최고의 에칭 솔루션 공급업체로서 오늘날의 반도체 제조 공정의 요구를 충족시키는 탁월한 안정성, 성능, 혁신적인 기술을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L 시스템은 효율적이고 정확한 작동을 촉진하기 위해 완전 자동화, 고해상도, 다단계 에칭 프로세스를 통합합니다. 인디 -A-L 장치 (Indy-A-L unit) 는 포토 esist 및 유전층을 포함한 다양한 재료를 에칭 할 수 있으며, 개별 프로세스에 필요한 정확한 매개변수를 수용하도록 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L 기계는 고해상도 제어 기능이있는 독점 플라즈마 도구를 사용하여 최적의 에칭 결과를 보장합니다. 에셋은 정밀하고 균일 한 결과로 수많은 에칭 단계를 실행할 수 있으며, 심층 에칭을 위해 최대 8 단계를 사용합니다. 또한 운영 비용을 줄이고 최적의 에칭 효율성을 제공하도록 설계된 저비용, 저유지 (low-maintenance) 플라즈마 소스를 통합합니다. TEL Indy-A-L 모델은 자동 레시피 관리, 장비 진단, 고급 레시피 로딩 및 복구를 통해 정확성과 신뢰성을 고려하여 설계되었습니다. 또한 모듈식 (modular) 과 유연성 (flexible) 을 갖도록 설계되어 필요에 따라 쉽게 업그레이드하고 사용자 정의할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L 장치에는 사용하기 쉬운 패턴 보간, 스텝 보간, 오류 복구 등 레시피 관리 및 유연성을 위한 고급 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어를 통해 사용자는 시스템을 특정 프로세스 요구사항에 맞게 쉽게 구성할 수 있으며, 또한 잠재적인 오류 (error or mis-steps) 를 방지할 수 있습니다. 표준 습식 에칭, 건식 에칭, 도금, 저항 얇음 및 어닐링을 포함한 인상적인 프로세스 옵션이 Indy-A-L에서 지원됩니다. 또한, 이 도구는 접촉 에칭 (contact etching), 깊은 반응성 이온 에칭 (deep reactive ion etching) 및 깊은 습식 에칭 (deep wet etching) 과 같은 프로세스에 맞게 조정되어 복잡한 제조 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L) 은 강력하고 신뢰할 수있는 자산으로, 반도체 장치 제조에서 응용 프로그램을 에칭 및 애싱 할 수있는 훌륭한 결과를 제공합니다. TEL 인디 -A-L (TEL Indy-A-L) 은 고성능 및 고급 기능 덕분에 전체 제작 프로세스에 효율성과 안정성을 제공하는 최고의 에칭 솔루션입니다.