판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643265

ID: 293643265
빈티지: 2006
Vertical furnace 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 혁신적인 반도체 장치 에처/애셔입니다. 이 올인원 장비는 에칭 및 애싱 기능을 하나의 소형 장치로 통합합니다. 소형 크기와 함께 TEL Indy-A-L은 정밀 제어, 뛰어난 시스템 성능, 강력한 안전 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 열 산화물 에칭, 산화물 패턴 에칭 및 산화물 마스크 스트리핑뿐만 아니라 어닐링, 소결 및 리플로우를 지원합니다. 최대 6 인치 크기의 3 개의 기판 세트를 수용 할 수 있습니다. 또한, 고급 프로세스 제어 기능을 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 최적화할 수 있습니다. Indy-A-L은 크고 사용자 친화적 인 터치 스크린과 간편한 프로세스 탐색 기능을 갖춘 강력한 Windows 기반 HMI 소프트웨어에서 실행됩니다. 또한 자동화된 통합 프로세스 제어 및 레시피 관리 (Recipe Management) 기능을 통해 간편하고 일관성 있는 작업을 수행할 수 있습니다. 직관적 인 메뉴 장치는 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 완벽하게 제어합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 또한 인상적인 안전 기능을 자랑합니다. 이 제품은 안전 장치 (Safety Machine) 를 내장하여 프로세스 조건의 안정성을 모니터링하여 위험한 프로세스 문제를 방지할 수 있습니다. 다중 안전 연동은 도구 근처의 인원과 기계를 더 안전하게 보호합니다. 전반적으로 TEL Indy-A-L은 소형 사용자 친화적 인 패키지로 강력한 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 고급 하드웨어, HMI 소프트웨어, 강력한 안전 기능으로, 반도체 장치 제작 및 기판 에칭/애싱 솔루션에 이상적인 선택입니다.
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