판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293622226
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 에칭 장비입니다. 이 정교한 시스템은 다양한 재료를 빠르고, 효과적으로, 그리고 최소한의 오염 물질로 에치하도록 설계되었습니다. TEL Indy-A-L은 플라즈마, 리에 이온 에칭 (RIE) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 을 포함한 3 단계 에칭 프로세스를 특징으로합니다. 첫 번째 단계에서, 물질은 고 에너지 플라즈마에 노출된다. 이 로 말미암아 "이온 '이 물질 을 관통 하여 미세 한 무늬 를 표면 에 에칭 하게 된다. 두 번째 단계 인 RIE (RIE) 는 다른 가스가 물질과 상호 작용하여 더 복잡한 에칭을 초래합니다. 세 번째 단계에서 PVD (PVD) 는 미리 정해진 영역에 재료를 추가하여 보다 높은 수준의 제어 및 사용자 정의를 가능하게 합니다. 이러한 다재다능성으로 인해 TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 다양한 Advanced Packaging and MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 프로세스에 적합합니다. 그것은 매우 작은 발자국을 가지고 있습니다. 크기는 단지 75cm x 105cm (너비 x 깊이) 입니다. 따라서 기존 생산 라인에서 지정된 영역에 맞습니다. 이 장치에는 열 예산이 적습니다. 즉, 운영 중 온도가 낮습니다. Indy-A-L에는 부품 가장자리에 정확하게 에칭할 수있는 ETC (Edge Tollerance Control) 기계도 있습니다. 이 도구에는 어퍼 암 (upper-arm) 로봇 암 가드와 이온 빔 소스 (ion beam source) 가 장착되어 있으며, 둘 다 프로세스가 안전하게 수행됩니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 SEM (Scanning Electron Microscope) 및 XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy) 를 포함한 다양한 분석 도구와 호환됩니다. 이렇게 하면 재료 에 에칭 된 "피쳐 '를 쉽고 정확 하게 측정 할 수 있다. 요약하면, TEL Indy-A-L (TEL Indy-A-L) 은 다양한 기능을 갖춘 정교한 에칭 자산으로, 반도체 장치 제조 산업에서 사용하기에 적합합니다. 다용도 설계, 소형 설치 공간 (small footprint), 고급 분석 툴을 통해 높은 정확도의 고품질 구성요소를 생산하고자 하는 기업에게 매우 유용한 툴입니다.
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