판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293587758

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 기판 에칭, 리프트 오프 및 금속 화 응용 분야에 사용되는 에처 또는 애셔입니다. TEL Indy-A-L은 고급 고 처리량 극저온 에칭 기술을 기반으로합니다. 이 기술을 통해 많은 기존 에치 기술에 비해 높은 에치 선택성, 뛰어난 화면 비율, 향상된 접착 강도, 균일 한 레이어 커버리지를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L에는 고해상도 CCD 카메라, 터보 진공 펌프 및 최적의 제어 가능한 처리 조건을 제공하는 플라즈마 이온 소스를 포함한 고급 광학이 장착되어 있습니다. 이러한 optics 및 source 조합을 통해 etching 및/또는 metalization 작업에 대한 프로세스 제어 및 변동성이 향상됩니다. Indy-A-L은 최대 8 "x 6" 의 기판을 처리 할 수 있으며, 이는 대규모 멀티 포인트 구성 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 시스템은 구리, 금, 알루미늄, 티타늄 및 기타 여러 금속과 같은 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-L은 또한 온도 임계 에칭 및 금속 화 프로세스를 최적화하는 초저온 챔버를 갖춘 고효율 설계를 갖추고 있습니다. 또한이 장치에는 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 무전기식 도금 등 다양한 리프팅 및 코팅 기술을 제공하는 다중 세그먼트 서셉터 (multi-segmented susceptor) 가 장착되어 있습니다. TEL Indy-A-L에는 자동 습식 벤치 및 연소실을 포함한 여러 안전 기능이 제공됩니다. TOKYO ELECTRON Indy-A-L advanced etcher/asher를 사용하면 입력과 구성을 최소화하면서 고급 에칭 기능을 즐길 수 있습니다. 표면 처리 및 금속 화 기능은 반도체 장치 제작, MEMS 제작, LED 제작, 더욱 진보 된 프로세스 등 다양한 작업에 대해 개선 된 레이어 커버리지 및 균일성을 제공합니다. 다재다능하고 정확한 프로세스 제어를 통해 다양한 업계 응용프로그램에 이상적인 솔루션이 됩니다 (영문).