판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P4 #9285738

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4는 반도체 장치 제조 산업을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 반도체 처리 장비입니다. TEL HT-800-P4 는 고급 디지털 컨트롤을 활용하여 세계 최고 수준의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 "핫 엔드 (hot-end)" 및 "콜드 엔드 (cold-end)" 펌프를 기반으로 한 진공 기술을 사용하여 정확성의 손실 없이 빠르고 쉬운 프로세스 변경을 허용합니다. "핫 엔드 (hot-end)" 펌프는 하나의 사이클에서 최대 4X 4 인치 기판의 미세 조정 에칭 및 재싱을 할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON HT-800-P4는 정밀 제어 강화를위한 독점적 인 산소 도핑 기술을 갖추고 있습니다. 이 장치의 하드웨어 제어 플랫폼에는 반복 가능하고 정확한 처리를 위해 자체 강화 척 (self-tightening chuck) 메커니즘도 포함되어 있습니다. 자가 강화 척 (self-tightening chuck) 은 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장하며, 특히 운영 애플리케이션에 필수적입니다. HT-800-P4 는 다용도가 높으며 다양한 기판 크기, 재료, 프로세스에 맞게 구성할 수 있습니다. 실리콘, 유리, 플라스틱, 금속 등 최대 20 가지의 다른 재료를 에칭하고 부착 할 수 있습니다. 또한, 기계는 최대 12 인치 크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P4에는 일관된 난방 및 냉각을 보장하는 멀티 존 샘플 플레이트가 장착되어 있습니다. 판에는 6 개의 온도 구역이 있으며 각 영역에는 독립적 인 온도 제어 기능이 있습니다. TEL HT-800-P4는 기능의 결과로 레시피를 재현하고 일괄 처리 (batch-to-batch) 일관성을 제공할 수 있습니다. 또한, 다국어 제어 기능을 통해 엔지니어는 처리 레시피를 빠르고 정확하게 프로그래밍 할 수 있습니다. 이는 에칭 및 어싱 프로세스의 최대 일관성과 반복 성을 보장합니다. 다양한 프로세스 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON HT-800-P4는 고급 반도체 장치 제작에 이상적입니다. 높은 수준의 정밀도 (Precision) 와 재현성 (Reprodibility) 은 사용 편의성과 결합하여 생산 및 개발 어플리케이션을 위한 최고의 선택입니다. 또한, 이 도구의 다양한 기능으로 인해 연구 개발 (R&D) 에도 탁월한 선택이 가능합니다.