판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-R #9285733

TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-R
ID: 9285733
Dry etchers Process: Metal Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-R은 고급 에처/애셔로, 특히 연구 및 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 고급 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기능을 통해 넓은 지역에 걸쳐 다양한 소재의 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. 강력한 설계를 통해 최소한의 시간과 노력으로 대규모 에칭 (etching) 을 신속하게 만들 수 있습니다. TEL HS-800-R은 고정밀 광학 장비를 사용하여 실리콘, 저마늄 및 기타 금속을 포함한 광범위한 재료를 정확하게 읽습니다. 저전압 작동은 안전하고 안정적인 사용을 보장하는 한편, 추가 전기 부품이 필요하지 않습니다. 독자적인 슬릿 중심 광학 시스템을 통해 TOKYO ELECTRON HS-800-R은 감광 층을 서브 미크론 정확도로 기판에 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이렇게 하면 에칭된 이미지가 고품질 (high-quality) 상태이고 전체 표면에서 일관성을 유지할 수 있습니다. 또한 HS-800-R 은 최적화된 프로세스에 맞게 쉽게 조정할 수 있는 고급 다중 롤러 장치 (advanced multiple roller unit) 를 사용합니다. 이렇게 하면 해상도를 최대화하고 레이어 간의 오버레이 변화를 줄일 수 있습니다. 또한 상부 (upper) 컨베이어 벨트 (conveyor belt) 를 사용하여 상부 (upper) 와 하부 (lower) 프로세싱 챔버 간의 재료를 전송하여 빠르고 쉽게 처리 할 수 있습니다. 에칭 프로세스를 추가로 제어하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-R에는 모듈 식 제어기가 있습니다. 여기에는 고속 레이저 라이터 (Laser Writer) 와 사용자 사양에 따라 매개변수를 조정하도록 프로그래밍할 수있는 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 가 포함됩니다. 이 기능을 사용하면 보다 효율적이고 정확한 에칭 프로세스가 가능합니다. 전반적으로 TEL HS-800-R은 신뢰할 수 있고 정교한 etcher/asher로 연구 또는 생산 열망에 이상적입니다. 고급 기능은 다양한 재료에 대한 고품질 및 제어 에칭 (etching) 프로세스를 보장합니다.
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