판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I #9285730

TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-I는 구리, 텅스텐, 알루미늄, 금 및 스테인리스 스틸과 같은 박막 건축 재료를 에칭하도록 설계된 고급 반자동 에처/애셔입니다. 에처는 탁월한 프로세스 제어 기능과 높은 처리량을 제공합니다. 고정밀도 및 최고 노치 에치 품질을 제공합니다. 이 에처에는 운영자 친화적 디스플레이 패널이 포함되어 있어 모든 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 장비는 에칭 및 오염을 줄이기 위해 자동 청소 메커니즘을 특징으로합니다. 에처 (etcher) 는 작은 세부적인 패턴과 기능을 에칭하기위한 고출력 레이저 시스템도 갖추고 있습니다. 축, 방사형 및 XY 평면의 세 가지 방향으로 에칭 할 수 있습니다. TEL HS-800-I 는 가스 혼합 에칭 기술을 사용하며, 각 필름 재료에 대해 프로세스 매개변수를 최적화하기 위해 다른 가스 혼합물을 혼합하는 기능을 가지고 있습니다. 이 에처에는 레이저 출력 조정 및 공정 튜닝 (process tuning) 이 가능한 통합 전원 공급 장치도 있습니다. TOKYO ELECTRON HS-800-I는 또한 고정밀 중심 광학 및 정밀 스테이지 동작 제어를 통해 설계되었습니다. 이렇게 하면 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있으며, 수동 정렬 및 교정이 필요하다는 점을 극복할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 균일 한 에칭 프로파일을 유지하는 데 도움이되는 동적 온도 제어를 제공합니다. HS-800-I에는 직관적인 Man-Machine 인터페이스가 장착되어 있어 명확한 운영자 명령과 자동화된 프로세스 제어를 제공합니다. 직관적인 명령, 표시, 피드백을 통해 프로세스 초기화 및 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 과도한 고출력 레이저 노출을 방지하기 위해 안전 인터 록이 장착되어 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-I는 고정밀도 및 최상위 에치 품질을 제공하는 고급 반자동 에처입니다. 강력한 레이저 옵틱과 고도의 정교한 모션 컨트롤, 작동 매개변수, 동적 온도 제어 (Dynamic Temperature Control) 등이 장착되어 있습니다. TEL HS-800-I (TEL HS-800-I) 는 박막 건축 재료를 에칭하기 위한 안정적이고 고성능 도구이며, 엔지니어 및 실험실 직원에게 이상적인 도구입니다.