판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287525

TEL/TOKYO ELECTRON Formal은 TEL Ltd에서 만들고 제조 한 에처/애셔입니다. 특정 표면 마감 (surface finish) 이 필요한 다양한 재료의 고정밀 에칭에 사용됩니다. 박막 증착, 유전체 에치, 화학 기계 연마 (CMP) 와 같은 다양한 산업 응용 분야에 필요한 뛰어난 에칭 정확도 및 성능을 제공합니다. TEL 공식은 특정 내부 표면 마감이있는 챔버로 구성됩니다. 화학적 에칭 공정에 균일 한 가스 확산 및 최소 벽 영향을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버 내부에는 고출력 광원, 기판 홀더, 가스/화학 분사 장비, 배기 시스템 및 컨트롤러가 있습니다. 광원은 기판을 비추고 원하는 패턴을 만드는 반면, 가스/화학 분사 장치 (gas/chemical injection unit) 는 에칭 프로세스에 필요한 구성 요소를 제공합니다. "배기 '기계 는" 에칭' 과정 중 에 생성 되는 어떤 연기 나 입자 를 끌어내어 "에칭 '하는 동안 안전 하고 깨끗 한 환경 을 유지 하는 역할 을 한다. 컨트롤러는 전체 공정을 조정하고, 광도, 기압, 온도 및 기타 변수를 모니터링하여 정확한 에치를 확인합니다. 도쿄 전자 포뮬러 (TOKYO ELECTRON Formula) 는 에칭 정확도와 처리량을 높일 수 있기 때문에 고정밀 에칭 응용 프로그램을위한 완벽한 도구입니다. 컨트롤러는 다양한 제어 설정 (control settings) 과 매개변수 (parameter) 를 제공하여 특정 요구 사항에 맞게 에칭 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 균일 한 "가스 '확산 과 결합 된" 챔버' 의 열린 구조 는 식각 표면 을 가로지르는 균일 함 을 보장 해 주며, 그 과정 의 결과 를 개선 시켜 준다. 포뮬러 (Formula) 는 정확한 에칭 및 마무리를 달성하기 위해 필요한 모든 구성 요소가 제공되므로 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다.