판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9277488

텔/도쿄 전자 포뮬러 (TEL/TOKYO ELECTRON Formula) 는 플라즈마를 사용하여 기질에서 유기 물질을 효과적으로 기화시키고 제거하는 에처/애셔 (재싱 장비라고도 함) 입니다. TEL Formula 의 에칭 기술은 고출력 애플리케이션을 위해 설계되었으며, 효율적인 가스 활용도와 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 이중 소스 구성 (플라즈마 및 에칭 가스) 을 사용하여 정확한 에칭 제어를 제공합니다. 또한 프로세스 가스 흐름이 최적화되어 안정적이고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). TOKYO ELECTRON Formula에는 RF와 Cold Plasma의 두 가지 유형의 플라즈마 소스가 있습니다. RF 소스는 플라스마를 유지하기 위해 광범위한 무선 주파수 (RF) 를 사용하는 반면, Cold Plasma 소스는 기체를 활성화하기 위해 DC 광원 소스를 사용합니다. "플라즈마 '를 두 개 사용 하면" 에치' 율 이 다른 여러 가지 형태 의 재료 를 처리 할 수 있고, 보다 안정 된 "에치 '결과 를 가져올 점진적 인" 에치' "프로파일 '을 도입 할 수 있다. 이 장치는 또한 효과적인 기판 청소 및 에칭 프로세스를 위해 10.3 Pa ~ 100 Pa 범위의 다양한 진공 수준을 갖추고 있습니다. 기판의 건조 입자 결함을 방지하기 위해 Enhanced WetDes Technology가 통합되었습니다. 기판의 온도는 챔버의 하단에서 제어 할 수도 있습니다. 그것 은 두꺼운 "펌프 '기름 의 특징 으로, 기질 이 과열 되지 않도록 안정적 이고 균일 한 온도 를 제공 하여" 에칭' 결과 의 질 을 증가 시킨다. 포뮬러 (Formula) 는 또한 통합 프로세스 모니터링 머신을 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 실시간으로 프로세스 표류를 관찰하고 수정할 수 있습니다. 프로세스 매개변수, 온도 모니터링, 에치 레이트 제어 및 엔드 포인트 감지를 프로그래밍하는 레시피 제어가 특징입니다. 이러한 기능은 모두 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 에칭 프로세스를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEL/TOKYO ELECTRON Formula) 은 결정 실리콘, 폴리 실리콘 및 박막 트랜지스터와 같은 광범위한 응용 분야에 이상적인 에칭 도구입니다. 또한, 견고한 디자인과 여러 가지 플라즈마 소스를 통해 고급 에칭 (etching) 기술을 위한 완벽한 플랫폼이 됩니다. 제조사· 연구기관 등에 쓰이는 "에처 (etcher) '다.