판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263883

TEL/TOKYO ELECTRON Formal은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 이 기계는 TEL Ltd와 다양한 회사 간의 협력 노력을 통해 개발되었습니다. 이 제품은 대용량 멀티 로더 (multi-loader) 장비와 고급 추적/제어 옵션을 갖춘 사용자 인터페이스를 제공합니다. 시스템의 ASHer (Advanced Sub-half Etcher) 부분은 병렬로 처리 할 수있는 최대 20 개의 쿼츠 웨이퍼가있는 에칭 챔버를 제공합니다. "에칭 '과정 은" 웨이퍼' 의 온도 에 영향 을 주지 않으므로 동일 한 방 에서 "에칭 '과" 애싱' 과정 을 수행 할 수 있다. 에칭 챔버는 또한 정확한 에칭 제어를 위해 엔드 포인트 검출을 제공합니다. 또한, 챔버에서 프로그래밍 가능한 프로세스를 통해 특정 작업에 대한 추가 사용자 정의가 가능합니다. 이 기계에는 자동 웨이퍼 추적 및 제어가 가능한 고급 트랙 장치 (advanced track unit) 도 있습니다. 따라서 사용자가 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 사용자 정의가 용이하며, 사용자의 기본 설정에 맞게 세밀하게 조정할 수 있습니다. 트랙 도구에는 수동 조작 및 웨이퍼 제거 옵션도 포함되어 있습니다. TEL 포뮬러 (TEL Formula) 의 사용자 인터페이스는 매우 직관적이며, 사용 가능한 모든 에칭 및 애싱 (ashing) 매개변수에 쉽고 간단하게 액세스 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 동일한 화면에 여러 개의 동시 프로세스를 표시할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 한 번에 여러 배치를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 기계는 사용자 친화적이고 사용자 정의가 용이하도록 설계되었습니다. 생산 수준 웨이퍼 (Wafer) 제작의 신뢰성 및 사용 용이성을 위해 연구 개발 (Research and Development) 목적으로 권장됩니다. 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 는 커스터마이징이 가능한 트랙 에셋 (Track Asset) 을 통해 기계를 매우 다양하게 만들 수 있으므로 모든 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 요구 사항에 적합합니다.