판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9250261

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9250261
웨이퍼 크기: 12"
Nitride furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Formula etcher/asher는 복잡한 패턴을 만들기 위해 얇은 재료를 제거하고 퇴적시키는 데 사용되는 최첨단 반도체 제작 장비입니다. 매우 효율적이어서 다양한 유형의 기판에 강하고 정확한 패턴 에칭 (etching) 을 허용합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 화학적 및 물리적 기술의 조합을 활용하는 고도로 진보 된 에칭 프로세스를 사용합니다. 에칭 (etching) 이라는 용어는 패턴을 기판으로 만드는 과정을 설명하는 데 사용됩니다. TEL 포뮬러 에처 (TEL Formula etcher )/애셔 (asher) 는 먼저 스핀 코팅 기술을 사용하여 기판에 에칭 될 재료의 얇은 필름을 증착함으로써 이것을 수행한다. 그 후, 에처는 반응성 이온 에칭 기능을 사용하는데, 여기서 전자기장이 적용되어 이온화 된 입자가 기질을 폭격하게된다. 이렇게 하면 지형이 있는 기판 (substrate) 을 생성하여 재료에 정확하게 에칭할 수 있습니다. 그 후, 에치 마스크 (etch mask) 는 기판에 얇은 재료층 인 선택적으로 증발 (sputtering) 하여 생성된다. 이 물질 층 은 "에칭 '의 장벽 역할 을 하며, 다른 것 들 에 그대로 남아 있는 동안 에" 에치' 를 제거 할 수 있는 곳 만 있다. etching 프로세스 외에도 TOKYO ELECTRON Formula etcher/asher에는 정렬 시스템도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 광저항 센서를 사용하여 기판의 표면을 검사하고, 에칭 (etching) 을 수행할 위치를 결정합니다. 이렇게 하면 정밀도, 정밀도 뿐만 아니라 속도, 최소한의 재료 사용량도 보장됩니다. 포뮬러 에처/애셔는 효율적이고 복잡한 반도체 제작 장비입니다. 이 기계는 고급 에칭 프로세스 (advanced etching process) 를 사용하여 정렬 시스템 (sorting system) 및 광저항 센서와 결합하면 매우 정확하고 정확한 재료 제거 방법을 생성합니다. 효율적이고 정확한 에칭을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON Echer/asher는 반도체 제조에 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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