판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9211644

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9211644
TEOS Furnaces.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula (Etcher/Asher) 은 고밀도 및 고용량 반도체 제작에서 포토 마스크 처리에 사용되는 에처/애셔입니다. 컴퓨터, 디스크 및 통신 제품과 같은 장치에 사용됩니다. 이 최첨단 머신은 고성능, 효율적인 포토마스크 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Formula 에는 고해상도 및 소형 기능을 이미징하기 위한 OLPM (Optical Laser Power Microscope) 이 장착되어 있습니다. 레이저 광 방출 (laser light emission) 과 에칭을위한 제어 이미지 신호의 조합을 사용합니다. "레이저 '는 다양 한 해상도 에 맞게 조정 할 수 있는 여러 가지" 노즐' 을 갖추고 있다. 에칭 (etcher) 의 에칭 속도는 에칭되는 마스크 패턴의 복잡성에 따라 변경할 수 있습니다. 에처는 정확한 제어 및 데이터 수집을 지원하는 11 축 모션 컨트롤 시스템으로 구동됩니다. 이 동작 조절 장치 는 광선 이동 의 거리 를 정확 하게 제어 할 수 있으며, 따라서 "에쳐 '는 여러 가지 복잡 한" 패턴' 을 성공적 으로 "에치 '할 수 있다. TOKYO ELECTRON Formula (TOKYO ELECTRON Formula) 는 또한 조절 가능한 해상도, 온도 챔버, 압력 제어 밸브 및 스패터 가드와 같은 여러 가지 고급 기능을 자랑합니다. 조절 가능한 해상도로 인해 고해상도 에칭이 가능하여 매우 복잡한 마스크가 가능합니다. 온도 챔버 (temperature chamber) 는 에칭 과정에서 제어 온도를 제공하여 폐기물을 줄이고 품질을 향상시킵니다. 압력 제어 밸브 (pressure control valve) 는 또한 에치가 수행되는 압력을 제어함으로써 정확도를 향상시킵니다. 마지막으로, 스패터 가드는 원치 않는 에칭 입자의 주입 및 증착을 방지하는 데 도움이됩니다. 효율적이고 정확한 에칭을 제공하는 것 외에도 Formula 은 내구성이 뛰어나고 오래 지속됩니다. 즉, 유지 보수 시간이 최소화되어 여러 사용량을 연장할 수 있도록 설계되었습니다. 이 내구성과 견고성은 반도체 마스크 (Masks) 와 패턴화 (Patterning) 와 같이 안정적이고, 오래 지속되는 도구가 필요한 산업에 적합합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEL/TOKYO ELECTRON Formula) 는 제조 프로세스와 기술을 일반적으로 필요한 것보다 훨씬 짧은 타임 라인으로 완료 할 수 있습니다. 고정밀도 및 고용량 에칭이 필요한 산업에는 완벽한 도구입니다. 고급 성능과 기능을 갖춘 TEL 포뮬러 (TEL Formula) 는 안정적이고 효율적인 포토마스크 처리에 이상적인 선택입니다.
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