판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9195346
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판매
ID: 9195346
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Vertical diffusion furnace, 12"
Main computer: Windows
Operating system: LINUX
Main body
Power box
Power box plate
EXH Box
Gas box
(2) Flow boxes
Load port
(2) I/O Units
I/O Top cover
I/O Filter
(7) Parts boxes
(4) Cable boxes
2010 vintage.
텔/도쿄 전자 포뮬러 (TEL/TOKYO ELECTRON Formula) 는 반도체 패턴 및 기타 재료를 에치하거나 조각하는 데 사용할 수있는 에처 (일반적으로 애셔라고 함) 입니다. 레이저, UV 및 화학 에칭 기술의 조합을 사용하여이를 수행합니다. 이 장치는 전자 총 (electron gun) 의 정확한 입자 빔을 사용하여 원하는 에칭 패턴을 만듭니다. 이 "빔 '은 작은 조리개 에서 방출 되며" 패턴' 은 전극 의 전압 에 의하여 결정 된다. TEL Formula etching 프로세스는 레이저, 에찬트, 클리닝 솔루션 등 다양한 요소에 의존합니다. "레이저 '는 초기" 패턴' 을 만드는 데 사용 되는데, 그 "패턴 '은 시험 구조 에서 시험 되고 수정 된다. 그 다음 에 "에찬트 '용액 과" 가스' 를 사용 하여 "패턴 '을 형성 하고," 에칭' 이 완성 된 후 기판 을 청소 한다. 이 장치 는 "에치 '를 위한" 웨이퍼' 혹은 기타 기판 을 보관 하는 홀더 암 을 특징 으로 한다. 다양한 기판 재료에 특수 홀더를 사용할 수 있습니다. 팔 (arm) 은 연산자의 입력에 따라 특정 위치에 설정됩니다. 팔은 다른 기판에 대해 더 조정 될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Formula etcher는 또한 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 공급하는 자동 급지대를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 장치를 효율적으로 작동하고 에칭 (etching) 프로세스 속도를 높여줍니다. "에칭 '과정 은 깨끗 하고 효율적 이므로 섬세 한 기판 을 심는 데 이상적 이다. 포뮬러 에처는 또한 사고와 노출을 예방하기위한 몇 가지 안전 조치를 가지고 있습니다. 온보드 필터는 에칭 중 공기 입자를 피하는 데 도움이되며, 에칭 후 (post-etching) 제거를 위해 HEPA 필터가 제공됩니다. 이 장치 는 또한 고온 및 기타 위험 "가스 '에 내성 이 있는 물질 로 만들어져 있다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEL/TOKYO ELECTRON Formula) 은 양의 에칭과 음의 에칭이 모두 가능하며 다양한 크기와 복잡성의 패턴을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치는 정확하고 반복 가능한 정확도를 가지며 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 섬세한 재료를 검출하고 반도체 패턴을 만들려는 사람들에게 이상적인 선택이다. & # 160; & # 160; & # 160;
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