판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620672
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ID: 293620672
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Deposition furnace, 12"
Process: SiN
Option: N28
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Load ports
Chamber
RCU
N2 Box
Power box
Refill system
BTBAS
Gas detector box
Floor box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formal은 정확하고 효율적이며 안정적인 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급형 에칭/애셔 장비입니다. "마이크로일렉트로닉스 '장치 제조 에서부터 새로운 형태 의 재료 개발 에 이르기 까지, 그 기술 은 광범위 한" 응용프로그램' 에 사용 되고 있다. 핵심에서 TEL Formula 시스템은 두 가지 핵심 구성 요소로 구성됩니다. 첫 번째는 ISMP (Integrated Scanning Microprocessor) 로, 전체 장치를 제어하고 기판 처리 데이터 및 피드백을 제공합니다. 두 번째는 플라즈마 기반 에칭 챔버 (PEC) 로, 에칭 및 반도체 웨이퍼 가공과 관련된 다른 프로세스를 수용합니다. 도쿄 전자 포뮬러 (TOKYO ELECTRON Formula) 내의 PEC는 고정밀 에칭 프로세스를 통해 높은 수준의 정확성과 반복성으로 고품질 웨이퍼 패턴을 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 금속, 유전체 및 질화 갈륨 (GaN) 을 포함한 다양한 재료를 에칭 할 수 있습니다. 또한 PC에는 자체 폐물 제거 자산 (Waste Removal Asset) 뿐만 아니라 정확한 에칭 온도를 보장하는 자체 통합 냉각 도구가 있습니다. 포뮬러 ISMP (ISMP of Formula) 를 사용하면 에칭 프로세스를 완전히 제어하여 다양한 재료에서 정확하고 반복 가능한 에치 결과를 얻을 수 있습니다. ISMP의 고급 소프트웨어 알고리즘 (advanced software algorithm) 을 활용하여 모델은 에치 전략 (etch strategies) 을 공식화하고 각 에치 단계의 진행 상황을 모니터링 할 수 있습니다. 따라서 사용자는 각 etch 프로세스를 정확하게 제어할 수 있고, 최고 품질의 웨이퍼 (wafer) 패턴을 생성할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula 은 iQM (통합 품질 관리 장비) 덕분에 매우 정확하고 안정적입니다. 이 시스템은 프로세스 내 품질 관리 (Quality Management) 를 수행하므로 원하는 성능 표준을 일관되게 충족할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 다양한 보안 계층이 포함되어 있어 모든 품질 데이터를 안전하게 확보, 저장, 처리할 수 있습니다. 결론적으로, TEL 포뮬러는 정확하고, 효율적이며, 안정적인 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 머신입니다. 첨단 품질 관리 (Quality Management) 기능과 결합된 혁신적인 기술로, 다양한 어플리케이션에 이상적인 선택으로, 반도체 웨이퍼 (Wafer) 의 매우 상세하고 정확한 패턴화에 이상적입니다.
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