판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620669
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ID: 293620669
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Furnace, 12"
(2) Load ports
(7) Boxes
Chamber
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEL/TOKYO ELECTRON Formula) 은 초소형 회로 패턴 및 포토 마스킹 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 에칭 머신입니다. TEL 포뮬러 (TEL Formula) 는 가장 정밀하게 특수 기판 및 재료를 사용하여 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 혁신적인 자동 웨이퍼 (Automated Wafer) 배송 장비를 갖추고 있어 시기적절하고 효율적인 방식으로 대용량 주문이 가능합니다. 기계에 의해 사용되는 고정밀 에칭 공정은 기판을 챔버 (chamber) 에 적재함으로써 시작되며, 그 후 기판을 단단히 밀봉하고 주변 공기를 제거한다. 열기와 저압 전자는 챔버를 대피시키고 최적의 가공 대기를 설정합니다. 그 후, 에칭 머신은 고급 PLD (Pulsed Laser Deposition) 및 IBE (Ion Beam Etching) 기술을 사용하여 다양한 다중 레벨 금속 및 유전체 필름을 만듭니다. TOKYO ELECTRON Formal의 정밀도는 내장 원자 흡수 및 소스 대상 격리 시스템에 의해 더욱 향상됩니다. 이러한 시스템은 에칭 매개변수 (etching parameters) 의 공차 및 변동을 줄여 미세 선 모양과 분 점 피치를 생성할 수 있습니다. 이는 웨이퍼 변형 또는 에칭 오류의 위험을 최소화합니다. 또한 Formula (공식) 에는 내장형 제어 시스템이 장착되어 있어 기술자가 각 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 기계는 또한 강력한 자동 입자 여과 및 복구 장치 (auto-particle filtration and recovery unit) 를 자랑하여 필름에 먼지나 파편이 통합 될 가능성을 줄입니다. 자동화된 '패시베이션 머신 (passivation machine)' 덕분에 각 레이어의 구조를 철저히 모니터링하고 조정하여 손상을 방지할 수 있다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON Formula 에칭 머신은 다양한 포토 마스킹 및 나노 제조 응용 분야에 대한 뛰어난 정밀도 및 정밀 엔지니어링을 제공합니다. 자동 (automatic) 웨이퍼 (wafer) 전달 및 제어 시스템 (control system) 을 포함한 다양한 고급 기능을 통해 가장 민감하고 복잡한 기판을 효율적이고 가장 높은 표준에 맞게 처리할 수 있습니다.
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