판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293596091

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 293596091
Furnace Process: ALD High-K.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula ("TEL Formula") 은 반도체 기판을 제거하고 청소하는 데 사용되는 강력한 에칭 및 애싱 머신입니다. 고품질의 균일 한 에칭 결과를 제공 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Formula (TOKYO ELECTRON Formula) 는 복잡성이 높은 고급 회로 설계 생산에서 최고 수준의 정확성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 에처 (etcher) 의 코어는 정밀하고 고속 스핀들 모터 (spindle motor) 이며, 빠른 속도로 회전하는 대구경 고속 연마 휠입니다. 이것 은 "반도체 '표면 에서 물질 을 매우 정확 하게 제거 할 수 있게 해 주며, 그 결과 는 균일성 을 보장 해 준다. 포뮬러 에처 (Formula etcher) 는 또한 에칭 과정에서 발생하는 먼지와 파편을 제거하여 최적의 성능을 보장하는 통합 진공 장비를 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula etcher는 PDEL (Photonic Discharge Electron Lithography) 이라는 독특하고 특허를받은 프로세스를 사용하여 반도체 기판을 에치하고 청소합니다. PDEL은 고출력, 초저음 레이저 (ultra-violet laser) 를 사용하여 기질에서 물질을 떨어뜨리는 고강도 전자의 거품을 매우 균일하게 생성하는 고급 에칭 기술입니다. 이 고급 에칭 기법을 사용하여 TEL 포뮬러 에처 (TEL Formula etcher) 는 다양한 고급 회로 설계를 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Formula etcher (도쿄 전자 포뮬러 에처) 는 지능적이고 포괄적 인 제어 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 챔버 압력 및 온도, 기판 전력, 레이저 전력 등의 에칭 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 특정 응용 프로그램에 대해 최적의 결과를 얻을 수 있으며, 매개변수 에칭 (etching) 을 조정할 때 유연성이 향상됩니다. 또한 각 에칭 (etching) 조건을 저장하고 기록하는 내장 메모리가 내장되어 있어 에치 (etch) 프로세스를 자세히 볼 수 있습니다. 결론적으로, 포뮬러는 반도체 산업에 사용되는 고급 에처 및 클리너입니다. 이 에처는 혁신적이고 정확한 PDEL 에칭 기술을 사용하며, 지능형 제어 머신을 사용하여 에칭 매개변수를 사용자 정의하여 고품질, 균일 한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 기계의 통합 진공 도구 (integrated vacuum tool) 는 먼지와 잔해가 반도체 기판을 오염시키는 것을 방지하고 최적의 성능을 보장합니다.
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