판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9372779

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K는 차세대 에처 및 애셔입니다. 고급 반도체 공정을 위해 만들어진 고성능 도구입니다. 이 기능에는 고밀도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있는 여러 가지 최첨단 기능이 포함되어 있습니다. ALD High-K 는 정확하고 반복 가능한 에칭에 필요한 성능과 속도를 에너지 효율적으로 제공하는 컴팩트한 설계입니다. 크고 복잡한 구조를 식각 할 수있는 600mm 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 이 챔버에는 4 단계 차동 펌핑 시스템 (differential pumping system) 과 광학 모니터링 장비가 장착되어 있으며, 정밀도를 높이고 미세한 에칭 결과를 보장합니다. 이 도구는 고급 냉각 시스템 (Advanced Cooling System) 덕분에 오랜 시간 사용 후 안정적인 처리 조건을 유지할 수 있습니다. 내구성이 뛰어난 고성능 하드웨어 외에도 ALD High-K 는 강력한 소프트웨어를 자랑합니다. 고급 패턴 인식 알고리즘은 약하게 에칭 된 부품을 실시간으로 감지하여 최적의 에칭 성능을 향상시킵니다. 또한 사용자 친화적 인 GUI 인터페이스를 통해 보다 효율적으로 작업을 수행할 수 있습니다. ALD High-K는 폴리 실리콘 및 실리카 에칭, 구리 제거, 금속 이방성 에칭 등 다양한 에치 및 애싱 응용 프로그램을 준수합니다. 또한 반도체 프로세스 제어를 통해 사용자가 에칭 (etching) 프로세스를 더욱 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Formula ALD High-K는 현대 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 에처 및 애셔입니다. 최첨단 하드웨어와 소프트웨어 (Software) 기능을 통해 모든 용도로 반복 가능하고, 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.