판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9253876

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K는 고급 원자층 증착 (ALD) 장비입니다. 나노 스케일 트랜지스터 (nanoscale transistor) 및 하이-k 재료와 같은 고성능 반도체 장치의 제작에 사용하도록 특별히 설계된 에처/애셔입니다. TEL Formula ALD High-K 는 높은 프로세스 반복성, 균일성, 확장성을 제공하며, 가장 저렴한 구조와 가장 높은 수율의 장치를 제공합니다. 정밀 프로세스 안정성, 균일성 및 고수율 제조업은 대용량 생산 및 확장성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K는 정확도가 향상된 업그레이드 된 MFC (Mass Flow Controller) 를 특징으로하며 사용자는 매우 반복적이고 신뢰할 수있는 프로세스를 제공합니다. 또한, 원자로의 벽 퇴적물의 온도 및 회피 모니터링은 효율적이고 쉬운 레시피 제어를 제공한다. 이 시스템은 또한 대규모 증착 영역을 지원하므로 사용자가 운영 기능을 확장 할 수 있습니다. Formula ALD High-K는 APD (Advanced Power Devices), 초고속 재료 및 ULSI 기술의 기타 어플리케이션과 같은 광범위한 어플리케이션 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 기술을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K에서 사용할 수있는 가장 발전된 공정 중 일부는 고체 상-알루미나 증착 및 고압 물질 생성을위한 원자 산소 공정입니다. 이 장치는 응용 프로그램에 따라 자체 구성 가능한 프로세스 매개변수도 지원합니다. TEL Formula ALD High-K에는 고급 다단 여과를 특징으로하는 혁신적인 TELCMIX 배기 모듈이 장착되어 있습니다. 이 효율적 인 배기 장치 는 가공 "챔버 '내부 의 최적 상태 를 유지 하는 데 도움 이 되며, 입자 를 오염 시키는 데 도움 이 된다. 통합 가스 모니터링 툴은 실시간 가스 흐름 (gas flow) 및 압력 제어 (pressure control) 기능을 제공하며 프로세스 반복성을 보장합니다. 이 에셋은 TEL 최첨단 TraxRecipe 소프트웨어에서도 지원됩니다. TEL 최첨단 TraxRecipe 소프트웨어는 사용자가 사용하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 맞춤형 레시피를 만들 수 있도록 도와줍니다. TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K는 high-k 재료 및 나노 스케일 트랜지스터를 포함하여 정확한 제어 및 반복 성이 필요한 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 모델은 뛰어난 프로세스 반복성과 통일성 (unifority) 을 갖춘 비용 효율적인, 신뢰성, 고수율 제조 제품을 제공하는 데 적합합니다. 이 장비는 고성능 반도체 장치와 부품의 제작에 이상적입니다.