판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293754603

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 장비는 반도체 생산 장비의 주요 공급 업체 인 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 생산 한 Formula 시리즈의 일부입니다. TEL Formula-1S-H는 반도체 산업에서 고정밀 에칭, 애싱 및 표면 처리 응용 분야에 맞게 특별히 조정됩니다. TOKYO ELECTRON의 핵심인 포뮬러 -1S-H 시스템 (TOKYO ELECTRON Formula-1S-H System) 은 첨단 프로세스 기능과 다용성으로, 광범위한 크리티컬 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다. 이 장치에는 최첨단 기술이 적용되었으며 가스 흐름, 압력, 온도, 플라즈마 밀도 등의 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이러한 제어 수준은 반도체 제작의 까다로운 요구 사항에 필수적인, 균일하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. Formula-1S-H는 에칭 및 애싱 프로세스에 필수적인 다양한 반응성 종을 생성하는 고성능 플라즈마 소스를 특징으로합니다. "플라즈마 '원 은 높은" 이온' 밀도 와 "에너지 '를 공급 하도록 설계 되어 기판 을 효율적 으로 제거 하고 청소 할 수 있다. 그 에 더하여, 기계 는 다용도 의 "가스 '전달 도구 를 갖추고 있어서, 공정" 가스' 의 정밀 한 혼합 및 조절 을 가능 하게 하여, 광범위 한 "에칭 '화학 물질 을 수행 할 수 있게 해 준다. TEL/TOKYO ELECTRON의 주요 강점 중 하나는 뛰어난 프로세스 균일성과 선택성입니다. 모델은 크기나 형상에 관계없이 전체 기판 서피스에서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 균일하도록 설계되었습니다. 이 균일성은 반도체 제조에서 일관된 장치 성능 및 생산량을 달성하는 데 중요합니다. 프로세스 제어 및 생산성을 향상시키기 위해 TEL Formula-1S-H 는 고급 소프트웨어와 통합되어 프로세스 매개 변수를 실시간으로 모니터링, 조정할 수 있습니다. 운영자는 프로세스 레시피를 손쉽게 프로그래밍하고 최적화하여 특정 요구 사항을 충족시켜, 장비 (장비) 의 효율적이고 안정적인 운영을 보장합니다. 안전성과 신뢰성 측면에서, TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 운영자를 보호하고 장비 손상을 방지하기 위해 다양한 안전 기능 및 인터 록을 갖추고 있습니다. 또한, 이 장비는 손쉬운 유지 보수 및 서비스 용이성, 다운타임 최소화, 반도체 생산의 최대 가동 시간 보장 등을 위해 설계되었습니다. 전반적으로 Formula-1S-H etcher/asher 시스템은 고정밀 반도체 제조 응용 분야를위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 첨단 프로세스 기능, 탁월한 균일성 (uniformity), 신뢰성 등을 갖춘 이 장치는 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족하고 차세대 디바이스 개발에 혁신을 주도하는 데 적합하며,