판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 반도체 장치 제조에 사용되는 정밀 미세 제조 공정을 전문으로하는 에처/재입니다. BEOL (back-end-of-line) 계층 및 고급 구조를 에치 (etch), 클리닝 및 플래너리즈 (planarize) 할 수 있는 다양한 툴 세트를 갖춘 단일 제조 플랫폼입니다. 이 기계는 높은 수준의 유연성을 제공하면서, 높은 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 고급 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 제조에 사용되며 간단한 섀도 마스크 (shadow mask) 에서 복잡한 구조가있는 고밀도 장치 (high-density device) 에 이르기까지 다양한 미세 구조를 처리 할 수 있습니다. TEL Formula-1S-H 는 높은 처리량 수준에서 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 기능을 제공하며 정확성과 신뢰성을 보장하는 완벽한 자동 기능을 갖추고 있습니다. 백엔드 (back-end-of-line) 레이어에 필요한 습식 및 건식 프로세스를 모두 수용할 수있는 통합 클리닝 시스템이 특징입니다. 정밀 정렬 및 동작 제어를 위한 고급 CAD 장치가 있습니다. 이 기계에는 정교한 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 가 있어 실시간 피드백 및 매개변수 조정을 통해 수율을 보장할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 높은 처리량과 반복성을 위해 설계되었습니다. 모듈식 아키텍처와 사용자 친화적 그래픽 제어 소프트웨어를 통해 프로세스 설정을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 보안 인터페이스를 통해 유지 보수 및 프로그래밍 용도로 보안, 원격 액세스를 지원합니다. 이 도구에는 자동 작동 및 향상된 장치 보호를 위한 프로그래머블 (programmable) 논리 컨트롤러도 장착되어 있습니다. 이 자산은 또한 온도, 압력 센서, 화재, 가스 탐지 시스템, 프로세스 모니터링과 같은 안전 기능 및 보호 기능을 내장했습니다. 이 모델은 섬세한 기판 구조에서 잔류 응력과 왜곡을 줄이는 저온 기하학적 에치 (geometric etch) 기능을 가지고 있습니다. 또한 최고의 성능을 보장하기 위해 입자 오염을 줄이는 최적화 된 증착 공정 (optimized deposition process) 이 있습니다. Formula-1S-H는 국제 반도체 생산 산업의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 다재다능하고 신뢰할 수있는 업계 최고의 에칭 및 애싱 장비입니다. 우수한 성능과 빠른 마이크로패브라이션 성장을 제공합니다. 이 시스템은 사용하기 쉽고, 유연하며, 비용 효율적입니다. 이를 통해 TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 현대 반도체 장치 제조의 고정밀 마이크로 구성 요구에 이상적인 선택입니다.