판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293653295
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 사용자 친화적 인 디자인의 고성능 에처/애셔입니다. 장비에는 단일 또는 이중 라인 시스템과의 상단 로딩 및 하단 로딩 구성이 모두 있습니다. 에처/애셔 압력 제어는 2 단계 2 스테이션 압력 조절기에 의해 유지됩니다. 단일 회선 장치는 최대 5 개의 레시피를 동시에 처리 할 수 있으며, 이중 회선은 한 번에 최대 10 개의 레시피를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 기판을 적재 및 언로드하기위한 고해상도 X-Y-Z 로봇과 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 프로그래밍 가능한 사이드 월 앵글 컨트롤러 (sidewall angle controller) 를 갖추고 있습니다. TEL Formula-1S-H etcher/asher는 RF 및 직접 난방 코일을 모두 갖춘 하이브리드 난방 방법을 사용하여 패치 영역 전체의 온도 균일성을 보장합니다. 챔버 대기는 터보-분자 펌프 (turbo-molecular pump) 를 통해 제어되어 지속적인 분석 및 유지 보수가 가능합니다. 공정을 모니터링하기 위해 실시간 간섭계 (interferometer) 와 냉각된 배기를 사용하는 필터리스 (filter-less) 통풍 도구 (venting tool) 가 포함됩니다. 에셋은 또한 모델과 그 연산자를 보호하기 위해 잠금 주파수 (lockout frequency) 한계와 프로그래밍 가능한 안전 인터 록을 포함합니다. 편리한 전원 공급 장치를 사용하면 단일 포인트 (single-point) 전자빔 (electron beam) 전원을 사용하여 장비에 직접 연결할 수 있습니다. 마지막으로, 적외선 가열 시스템을 사용하여 환경 온도를 원하는 온도로 줄입니다. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asher는 신뢰할 수 있고 유연한 단위로, 모든 에칭 또는 애싱 응용 프로그램에 대한 정확한 결과를 만들 수 있습니다. 사용자 친화적인 설계, 통합 안전 (Integrated Safety) 기능, 고급 온도 조절 기능을 통해 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.
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