판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647206

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 수동 및 자동 반도체 생산 프로세스를 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 개방형 아키텍처 플랫폼 (open-architecture platform) 을 기반으로 하여 소프트웨어, 재료, 컴포넌트 선택의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 장치는 고속 전기 자기 교반기 (electro-magnetic stirrer) 와 핫 플레이트로 구동되는 처리 챔버로 구성되며, 처리 전에 웨이퍼를 예열하는 데 사용됩니다. 이 챔버는 UHV (Ultra-High Vacuum) 에서 애싱 및 에칭 사이클을 수행 할 수 있으며, 강력한 고주파 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 이 장치는 매우 효율적인 웨이퍼 로딩 및 언로드 머신을 갖추고 있으며, 다양한 웨이퍼 직경 (2 "~ 6") 을 처리 할 수 있습니다. 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 작업도 가능하므로 프로덕션 배포에 이상적입니다. 프로세스 제어는 고도의 고급으로, 각 처리 단계에 대한 자세한 매개변수 설정, 모니터링, 문서를 제공합니다. 이를 통해 최고의 반복 가능성과 제품 품질이 보장됩니다. 추가 기능에는 대용량 온보드 가스 공급이 포함되며, 일관된 에칭/애싱 결과를 위해 높은 정밀 흐름 제어가 제공됩니다. 또한 인라인 (in-line) 도량형 툴과 실시간 웨이퍼 (wafer) 클리닝 자산을 통합하여 효율성을 높이고 품질을 통합할 수 있습니다. TEL Formula-1S-H etcher/asher는 반도체 산업 표준을 충족하고, 안전하고 안정적인 결과를 제공하고, 자동화 중심 생산 환경에 이상적인 선택이 될 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델은 설치 및 유지 관리가 용이하며, 사용자의 개입 (Intervention) 이 최소화되고 교정 기능이 내장되어 있습니다. 이것은 현대 반도체 제조 작업에 이상적입니다.