판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293625497

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H는 1 챔버, 컴퓨터 제어 에처/애셔입니다. 마이크로패브라이케이션 (microfabrication) 과 반도체 (semiconductor) 응용프로그램에서 에칭 및 애싱 프로세스를 수행할 때 높은 정밀도 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 프로세스의 정확성과 반복성 (repeatibility of process) 을 보장하기 위해 다양한 옵션과 포괄적인 기능이 장착되어 있습니다. TEL Formula-1S-H의 주요 구성 요소는 에칭/애싱 챔버입니다. 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 최대 용량은 600 리터입니다. 약실 내부 에 "가스 '를 도입 하고, 정밀 한 식각 및 발작 과정 을 위해 진공 대기 를 유지 한다. 챔버 내부의 온도는 또한 정확한 전자 온도 컨트롤러를 통해 조절됩니다. 온도의 정확한 제어는 정밀한 결과와 공정의 반복 성을 보장합니다. 이 시스템은 또한 프로세스를 향상시키기 위해 몇 가지 선택적 액세서리를 제공합니다. 그것 은 교차 오염 을 방지 하고 그 과정 을 정확 히 제어 할 수 있도록 "워터 칠러 '를 장착 할 수 있다. 더 나은 해상도를 위해, 2 차 플래튼이 더 높은 해상도에서 정확한 에칭을 위해 장치에 추가 될 수있다. 롤오버 플레이트는 정확한 수직 에칭에도 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Formula-1S-H에는 몇 가지 장점이 있습니다. 사용하기 간단하고 정확한 결과를 제공합니다. 다재다능하여 요구 사항에 따라 다른 매개 변수를 조정할 수 있습니다. 고밀도 에칭을 포함하여 다른 에칭 및 애싱 매개변수와 호환됩니다. 안전 기능은 유해 가스에 최소한의 노출을 보장합니다. 기계는 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 컴퓨터와 연결되어 프로세스 데이터를 제공하고, 프로세스를 모니터링하고, 결과의 반복성을 보장할 수 있습니다. 또한 SEM, AFM, wafer stepper 등의 다른 시스템과 통합하여 프로세스 효율성을 높일 수 있습니다. 전반적으로 Formula-1S-H는 신뢰할 수 있고 정확합니다. 고성능 (HPC) 과 다양한 추가 기능을 통해 다양한 마이크로패브라이케이션 (Microfabrication) 및 반도체 어플리케이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다.