판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641258

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H는 웨이퍼 레벨 장치 제작을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 멀티 챔버, 멀티 가스 및 멀티 카세트 처리를 사용하며 100mm 및 150mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 를 사용하면 웨이퍼 레벨 디바이스 구성 프로세스가 기존 프로세스보다 훨씬 빠르고 효율적입니다. TEL Formula-1-H etcher/asher에는 습식 및 건식 에칭을 모두 허용하는 멀티 챔버 플랫폼이 장착되어 있습니다. 멀티 가스 (multi-gas) 기능은 최대 4 개의 처리 가능한 가스를 사용하여 다양한 반응을 가능하게합니다. 이를 통해 깊은 에칭 및 하드 마스크 에칭, 접촉 에칭 및 이방성 에칭 모두 가능합니다. 멀티 카세트 기능을 통해 가스 리필링을 제어하고, 처리 시간을 제거하고, 처리 시간을 최적화할 수 있습니다. 공정 "가스 '의 격리 는 또한 환경 안전 을 향상 시켜 주며, 청소 의 짐 을 줄일 수 있다. TOKYO ELECTRON FORMULA 1H는 높은 생산 처리량에서 단일 및 다중 계층 프로세스를 모두 위한 웨이퍼 레벨 장치 제작을 위해 설계되었습니다. 저전력 소비량 (low-power consumption) 설계이며, 빠른 웨이퍼 전송 로봇으로 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. 멀티 챔버 (Multi-Chamber) 플랫폼은 유연성과 확장성을 고려하여 설계되었으며, 필요에 따라 더욱 세련될 수 있는 다양한 새로운 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 또한 금 도금 된 챔버 표면을 갖추고 있으며, 유지 보수 비용을 줄이고 더 깨끗한 처리를 보장합니다. TOKYO ELECTRON Formula-1-H에는 프로세스 오염을 방지하기위한 자동 청소 시스템이 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 고급 안전 기능도 포함되어 있어 최적의 운영자 안전을 보장합니다. Formula-1-H etcher/asher는 반도체 산업에서 사용하기에 이상적이며, 효율성이 최대인 웨이퍼 레벨 장치 제조가 가능합니다.