중고 TEL / TOKYO ELECTRON / EPION (에처/애셔) 판매용

TEL/TOKYO ELECTRON/EPION에서 제조 한 Etcher/Ashers는 최첨단 기술과 뛰어난 성능으로 반도체 산업에서 높은 평가를 받았습니다. 이 시스템은 집적 회로 (IC) 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작에서 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스에 널리 사용됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON/EPION etchers/ashers의 주요 장점 중 하나는 다양한 재료에 걸쳐 높은 정밀도와 균일성을 얻는 능력입니다. 이러한 시스템은 나노 미터 스케일에서 선택적 에칭 (etching) 이 가능하여 IC의 정확한 패턴화와 최적의 장치 성능을 보장합니다. 또한, 이러한 도구의 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 온도, 압력, 가스 흐름 및 기타 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 매우 반복 가능하고 신뢰할 수있는 결과를 얻을 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON/EPION etcher/asher 시스템의 주목할만한 예로는 GCIB1 및 UltraTrimmer 30이 있습니다. GCIB1은 다양한 재료, 특히 유기 및 무기 필름에 대한 고해상도 표면 수정 기능을 제공하는 가스 클러스터 이온 빔 시스템 (gas cluster ion beam system) 입니다. 기본 구조를 손상시키지 않고 매우 정확한 재료 제거 및 표면 매끄럽게 할 수 있습니다. 반면, UltraTrimmer 30은 커패시터, 저항기 등 수동형 부품의 고성능 트리밍을 위해 설계된 반응성 이온 에치 (reactive ion etch) 시스템입니다. 에치 레이트 (etch rate) 및 선택성 (selectivity) 에 대한 뛰어난 제어를 제공하여 최소한의 변형을 통해 정확한 트리밍을 보장합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON/EPION etchers/ashers는 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 반도체 산업을 제공하여 고품질 IC 및 마이크로 일렉트로닉 장치의 생산을 가능하게합니다.

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