판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293607522

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON DRM은 반도체 및 포토 마스크 산업을 위해 설계된 에칭/애싱 장비입니다. 이 "시스템 '은 대용량 기판 을 신속 하고 정확 하게 에칭 하기 위한 강력 한 자동화 장치 이다. 주요 공정 챔버와 4 개의 서브 챔버로 구성됩니다. 메인 챔버 (main chamber) 는 가열 된 입구 및 콘센트, 배기 장치, 퍼지 가스 기계, 공정 가스 소스 및 샘플 운송 도구가 장착 된 대형 가열 스테인레스 스틸 인클로저입니다. 서브 챔버는 플루오린, 염소, 수소, 질소, 산소 등 다양한 공정 가스를 공급하는 데 사용됩니다. 가스는 각각의 서브 챔버 (sub-chamber) 에 저장되며, 원하는 프로세스를 달성하기 위해 필요한 압력 및 온도에서 실행됩니다. 공정 챔버 대피를위한 진공 펌프도 제공됩니다. 예제 수송 자산은 샘플 기판을 주 챔버 (main chamber) 에서 서브 챔버 (sub-chamber) 로 이동시키는 로봇 암 (robot arm) 으로 구성됩니다. 이 모델에는 통합 플라즈마 소스도 있습니다. 이 "플라즈마 '는" 챔버' 를 청소 하는 데 사용 되며, 그 표면 을 반응성 이온 에 노출 시킨다. 또한 "플라즈마 '는 존재 하는" 이온' 의 밀도 와 종류 를 정확 하게 조절 함 으로써 식각 과정 을 조절 하는 데 도움 이 된다. 이를 통해 매우 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 또한, 프로세스 실행 중에 챔버 (chamber) 가 닫혀 있는지 확인하기 위해 연동 장비 (interlock equipment) 가 사용됩니다. TEL DRM 시스템은 매우 다재다능하며 박막 에칭, 미세 패턴, 피처 머시닝 (feature machining) 등 다양한 에칭 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 설치, 운영이 용이하며, 결함이 최소화되면서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 에너지 효율도 높고 경제성도 높으며, 짧은 시간 안에 고품질 에치 (etch) 를 생산할 수 있습니다.