판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus #9353006

TEL / TOKYO ELECTRON Chamber for Tactras Vigus
ID: 9353006
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Strip chamber, 12" ATC MM0011 2006 vintage.
Tactras Vigus Etcher/Asher 용 TEL/TOKYO ELECTRON Chamber는 최소 처리 시간으로 우수한 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 에칭/애싱 장비입니다. 그 독특한 디자인은 정확하고 효율적인 작업을 위해 디지털 모터 컨트롤 시스템 (digital motor control system) 과 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 통합하고 정확한 매개 변수를 유지하기 위해 폐쇄 루프 프로세스 모니터링 장치를 포함합니다. 이 기계에는 에칭/어싱 프로세스의 각 단계를 모니터링하고 제어하여 고정밀 에칭/어싱 결과를 가능하게 하는 PLC (Advanced Programmable Logic Controller) 가 장착되어 있습니다. Tactras Vigus Etcher/Asher 용 TEL 챔버 (TEL Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher) 는 시장의 다른 에칭/애싱 시스템과 비교할 때 독특한 선택을하는 수많은 기능을 가지고 있습니다. 첫째, 폐쇄 루프 프로세스 모니터링 도구 (closed-loop process-monitoring tool) 는 사이클 시간을 정확하게 추정하여 과잉 처리 및 귀중한 재료의 파괴를 방지합니다. 둘째, 고급 PLC 에셋을 사용하면 에칭 속도를 높이고 파손 확률을 줄여 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델에는 프로그램 기반 및 대화식 프로그래밍, 에칭/어싱 매개변수의 실시간 모니터링 및 편집 등 다양한 자동 프로그래밍 도구가 포함됩니다. 성능 측면에서 Tactras Vigus Etcher/Asher 용 TOKYO ELECTRON Chamber는 최소 왜곡으로 최대 12mm 두께와 700mm 정사각형 크기의 기판을 에칭/회수 할 수 있습니다. 70 초의 퍼티 타임 (putty-time) 과 10nm의 높은 에칭/애싱 해상도로 에칭/애싱 작업을 처리하여 정확하고 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch), 과전류 보호 (over-current protection), 밸브의 드라이 런 (Dry-run) 보호 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. Tactras Vigus Etcher/Asher 용 챔버 (Chamber for Tactras Vigus Etcher/Asher) 는 강력한 에칭/애싱 시스템으로 사용자가 저렴한 시간 효율적인 방식으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 수많은 기능, 고급 PLC 장치, 인상적인 에칭/애싱 성능으로 인해 안정적이고 효율적인 에칭/애싱 머신을 찾는 사람들에게 탁월한 선택이되었습니다.
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