판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9375198

TEL/TOKYO ELECTRON Certas는 청소실 환경에서 IC 장치의 고정밀 스루 홀 리소그래피 및 에칭을 위해 설계된 고급 에칭/애셔 기기입니다. 극도의 정확성과 신뢰성을 위해 설계된 완전 자동 석판화/에처 장비입니다. 통합 된 백사이드 정렬 기능과 최첨단 옵틱을 통해 마이크로 형성, 라인 형성, 스루 홀 에칭, 컨택트 홀 에칭 등 매우 정확한 리소그래피 및 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 고급 마이크로 리토그래피 시스템은 균일 한 패턴을 높은 수율과 품질의 IC 장치로 에치 (etch) 하고 인쇄합니다. 이 최첨단 기술은 새로운 수준의 정밀 석판화 (fine precision lithography) 와 에칭 (etching) 을 도입하여 복잡한 설계에도 반복성과 정확성을 보장합니다. TEL Certas (TEL Certas) 의 안정적인 작동은 완전하게 자동화 된 프로세스 유닛에 의해 보장되며, 이를 통해 극한의 조건에서 작동이 가능합니다. 자동 필름 로딩 (automatic film loading) 및 언로드 (unloading) 머신은 수동 처리의 위험으로부터 cleanroom 환경을 자유롭게 유지하여 연속적이고 꾸준한 작동을 보장합니다. 또한 프로세스 제어 도구 (process controling tool) 는 장치 설계 또는 프로세스 조건에 따라 필요한 모든 조정을 쉽게 처리할 수 있는 자체 조정 기능으로 작동합니다. TOKYO ELECTRON Certas는 프로세스 범위가 넓기 때문에 탁월한 프로세스 유연성을 제공합니다. i-line 및 KrF excimer 레이저와 호환되며, 모든 종류의 패턴을 처리하도록 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 고급 옵틱 (Optic), 고급 자동 초점 자산, 매우 정확한 서보 모션 제어 (Servo-Motion Control) 의 조합은 가장 복잡한 설계에도 높은 성능과 반복 가능성을 약속합니다. 또한, 소프트웨어 제어 레이저 스팟 프로파일은 레이저 빔의 최적의 발사 및 정확한 에칭을 위해 자동으로 조정됩니다. Certas는 정확성, 품질, 신뢰성 및 안정성을 약속하는 매우 통합된 다목적 에칭/애셔 모델입니다. 통합 백사이드 정렬, 나노 포지셔닝 장비, 고정밀도 옵틱, 자동 중심, 고급 프로세스 제어 프로토콜 등의 고급 기능을 통합하여 탁월한 에칭 (etching) 및 리소그래피 성능을 제공합니다.