판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Certas #9241302

TEL/TOKYO ELECTRON Certas는 반도체 산업에서 사용되는 에처/애셔입니다. 이 기계는 대용량 생산 프로세스에서 비용 효율적인 에칭 또는 애싱 웨이퍼 (ashing wafer) 방법을 제공합니다. TEL Certas는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 에치 또는 재로 사용할 수 있습니다. 즉, 에칭/어싱 프로세스는 빠르고 훌륭한 결과로 완료 될 수 있습니다. 이 시스템은 또한 에너지 절감 효과를 제공하여 훨씬 더 비용 효율적인 선택입니다. GC/MS (Gas Chromatograph Mass Spectrometer) 는 TOKYO ELECTRON Certas에서 처리 전에 웨이퍼의 오염 물질을 감지하는 데 사용됩니다. 이를 통해 에칭/어싱 프로세스의 품질이 높을 수 있습니다. Certas에는 합금 트랩, 라인 너비 변형, 에칭되지 않은 물질의 존재, 단단한 가장자리 및 프로세스 분해를 감지 할 수있는 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 이들 각각이 모니터링되고 기계는 매개변수를 조정하여 우수한 에칭/애싱 (etching/ashing) 결과를 제공 할 수 있습니다. etcher/asher에는 사용자에게 더 큰 유연성을 제공하는 다양한 도구가 제공됩니다. '라인 지우개 (line eraser)' 도구를 사용하여 라인 프링을 지울 수 있으며 '프로세스 최적화 도구 (process optimization tool)' 를 사용하여 에칭/어싱 프로세스를 최적화할 수 있습니다. etcher/asher는 사용자에게 에칭/애싱 프로세스를 예외적으로 제어합니다. 이렇게 하면 에칭/어싱 프로세스 (etching/ashing process) 동안 프로세스 관련 결함이 없으며, 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Certas etcher/asher는 비용 효율성, 속도, 품질 및 유연성으로 인해 대용량 생산 프로세스에 적합합니다. 다용도 (다용도) 와 신뢰성 (신뢰성) 을 갖추고 있으며, 프로세스를 원활하게 실행하기 위해 필요한 성능을 사용자에게 제공합니다.