판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON AMN-5082 #293653819

ID: 293653819
Chamber for SCCM.
TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082 (TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082) 는 탁월한 프로세스 성능 기능을 제공하여 정밀 에칭 서비스가 필요한 제조업체에 이상적인 선택입니다. 특히 에칭 프로세스 (etching process) 의 요구 사항을 충족하기 위해 설계된 이 툴은 단순화된 처리 장비 (Simplified Handling Equipment) 와 다양한 기판 크기와 재료를 포함한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. TEL AMN-5082는 다양한 금속 및 비금속 기판을 에칭 할 수 있으며, 정밀 프로세스 제어 및 대용량 생산이 가능합니다. 이 도구의 에칭 시스템은 고급 턴테이블, 진공베이스 플레이트, 저항 퀸칭 유닛 및 냉각제 안개 제어로 구성됩니다. 턴테이블은 고정밀 강철 베어링 (steel bearing) 으로 구성되어 있어 일관된 고품질 에칭 프로파일을 생성 할 수 있으며, 저진공 베이스 플레이트는 안전하고 안정적인 에칭 프로세스를 보장합니다. TOKYO ELECTRON AMN-5082 (TOKYO ELECTRON AMN-5082) 는 또한 기질 산화의 발생을 최소화하고 발생으로부터 과잉 에칭에 저항하는 저항 소화기를 특징으로합니다. 이것 은 특정 한 간격 으로 화학 물질 을 "챔버 '에 방출 함 으로써 달성 된다. 이는 애플리케이션 요구 사항에 따라 조정이 가능하므로 언제든지 '타겟 에치 (etch)' 속도를 달성할 수 있습니다. 또한, 냉각제 안개 제어 (coolant-mist control) 기능은 냉각 온도를 효과적으로 제어하여 에칭 프로세스 중 오염을 방지하는 데 도움이됩니다. AMN-5082는 또한 처리 도구 측면에서 다양한 이점을 제공합니다. 테쳐는 3 축 모터 피드백 (motor-feedback) 자산을 사용하여 위치를 자동으로 조정하여 다른 기판 및 기판 크기를 수용할 수 있습니다. 공구가 동작 (motion) 을 쉽게 조정하여 균일 (unifority) 을 보장하기 때문에 여러 기판을 함께 에칭해야 할 때 특히 유용합니다. 또한, Etching 프로세스를 자동으로 동기화하여 시간을 절약하고 오류를 줄이기 위해 Tool을 프로그래밍할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON AMN-5082는 다양한 재료에서 신뢰할 수있는 에칭 기능을 제공하는 잘 둥근 에처입니다. TEL AMN-5082는 다양한 기판, 자동 처리 모델, 고급 저항력 소광 (resist quenching) 및 냉각수 안개 제어 기능을 수용 할 수있는 기능을 갖춘 TEL AMN-5082는 정밀 에칭 서비스가 필요한 제조업체에 효과적인 선택입니다.
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